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J-GLOBAL ID：201702268511640591   Reference number：17A0190498

Shack-Hartmann Sensor for Measurement of Two-Dimensional Electron Density Distribution over Discharge Plasma

シャックハルトマンセンサによる放電プラズマの2次元電子密度分布測定

Author (5)： INADA Yuki (Saitama Univ., Saitama, JPN) ,  ONO Ryo (Univ. Tokyo, Chiba, JPN) ,  KUMADA Akiko (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIDAKA Kunihiko (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  MAEYAMA Mitsuaki (Saitama Univ., Saitama, JPN)
Material： プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM)  (プラズマプロセシング研究会(CD-ROM))
Volume： 34th  Page： ROMBUNNO.17pA1  Publication year： Jan. 16, 2017 
JST Material Number： L4449B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma diagnostics ,  plasma ,  arc discharge ,  density distribution ,  measurement ,  two dimension ,  visualization ,  time resolution ,  optical measurement ,  *electron density ,  *optical sensor
Semi thesaurus term： *electron density distribution ,  density measurement ,  laser measurement ,  *Shack-Hartmann sensor ,  discharge plasma

JST classification (1)： Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Terms in the title (3)： 放電プラズマ ,  2次元 ,  電子密度分布