Art

J-GLOBAL ID：201702272440944517   Reference number：17A0458790

Development of Nano-Resolution Desktop FE-SEM and X-ray microscope with Multi-Walled Carbon Nanotube Electron Source

多層カーボンナノチューブ電子源を備えたナノ分解能デスクトップFE-SEMとX線顕微鏡の開発

Author (8)： IRITA Masaru (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YAMAZAKI Shintarou (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KATSUYAMA Shota (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  NAKAHARA Hitoshi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ASAKA Koji (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SAITO Yahachi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MURATA Hidekazu (Meijo Univ., Nagoya, JPN) ,  OHNO Teruaki (Technex Lab Co., Tokyo, JPN)
Material： フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム講演要旨集  (Abstracts. Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium)
Volume： 52nd  Page： 36  Publication year： Mar. 01, 2017 
JST Material Number： L1472A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *scanning electron microscope ,  *X-ray microscope ,  multiwalled carbon nanotube ,  electron source ,  high-resolution ,  display device
Semi thesaurus term： *FE-SEM

JST classification (2)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Terms in the title (7)： 多層カーボンナノチューブ ,  電子源 ,  分解能 ,  デスクトップ ,  FE-SEM ,  X線顕微鏡 ,  開発