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J-GLOBAL ID：201702277324401087   Reference number：17A0190494

Efficient production of meter-scale atmospheric-pressure line plasma using modified waveguide and cw microwave power

改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成

Author (8)： SUZUKI Haruka (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TAMURA Yuto (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  INOMATA Yaoki (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ITOH Hitoshi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ITOH Hitoshi (Tokyo Electron Ltd., Tokyo, JPN) ,  SEKINE Makoto (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HORI Masaru (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TOYODA Hirotaka (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
Material： プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM)  (プラズマプロセシング研究会(CD-ROM))
Volume： 34th  Page： ROMBUNNO.17aB1  Publication year： Jan. 16, 2017 
JST Material Number： L4449B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microwave discharge ,  plasma device ,  waveguide ,  *plasma production ,  CCD camera ,  plasma spectroscopy ,  *plasma source ,  photoirradiation ,  *wetting(liquid)
Semi thesaurus term： wave guide ,  atmospheric pressure plasma ,  ICCD camera ,  *plasma source ,  wettability

JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Terms in the title (7)： 導波管 ,  連続発振 ,  マイクロ波電力 ,  メートル ,  長尺 ,  大気圧 ,  プラズマ