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J-GLOBAL ID：201602271806930047   Reference number：16A0915449

先端部品と求められる精密研磨技術の最新動向[研磨機械の最新技術]高能率ポリシングマシンと最新加工技術-システム化された片面研磨機-

Author (1)： YAMAMOTO EIICHI (岡本工作機械製作所 技術開発本部)
Material： 機械技術  (Mechanical Engineering)
Volume： 64  Issue： 11  Page： 22-25  Publication year： Oct. 01, 2016 
JST Material Number： F0145A  ISSN： 0451-9396  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： advanced technology ,  *precision grinding ,  *polishing machine ,  silicon ,  silicon carbide ,  gallium nitride ,  light emitting diode ,  substrate(plate) ,  sapphire ,  brittleness ,  flatness(property)

JST classification (2)： Grinding  (QC03000R) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 精密研磨 ,  最新動向 ,  研磨 ,  高能率 ,  ポリシングマシン ,  片面 ,  研磨機