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J-GLOBAL ID：201702230328335432   Reference number：17A0003274

Measurements of Ultrasonic Surface Wave Velocities in Silicon Crystals and its Comparison with FE Analysis

シリコン結晶中の超音波表面波速度の測定とそのFE分析との比較

Author (5)： PARK Hye Soo (KAIST, KOR) ,  LEE Hyun-Seok (KAIST, KOR) ,  LEE Hyeon-Soo (KAIST, KOR) ,  KIM Hak-Beom (KAIST, KOR) ,  KIM Young H. (KAIST, KOR)
Material： 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(CD-ROM)  (超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集(CD-ROM))
Volume： 37th  Page： ROMBUNNO.2P1-4  Publication year： Nov. 16, 2016 
JST Material Number： L1419B  ISSN： 2189-9606  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ultrasonic wave ,  *ultrasonic test ,  silicon ,  crystal ,  *surface wave ,  *nondestructive inspection ,  nuclear power plant
Semi thesaurus term： silicon crystal ,  nuclear power plant ,  guided wave

JST classification (1)： Acoustical measurements and instrumentation  (BB03040R)

Terms in the title (5)： シリコン結晶 ,  超音波 ,  波速度 ,  Fe ,  分析