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J-GLOBAL ID：201702230501994624   Reference number：17A0515213

回路図投入!バーチャル回路マシンDVD 第5章 機械じかけのワンチップ加速度センサICからイメージ・センサまで μmスケール!3次元ICのチップ内シミュレーション

Author (3)： TOSHIYOSHI HIROSHI ,  KONISHI TOSHIFUMI ,  YOSHIZAKI SATOSHI
Material： トランジスタ技術
Volume： 54  Issue： 5  Page： 91-106  Publication year： May. 01, 2017 
JST Material Number： L3911A  ISSN： 0040-9413  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： simulation ,  *speed sensor ,  integrated circuit ,  MEMS
Semi thesaurus term： *acceleration sensor ,  IC

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc?  (AD05040K)

Terms in the title (10)： 回路図 ,  投入 ,  バーチャル ,  マシン ,  DVD ,  加速度センサ ,  IC ,  イメージ ,  スケール ,  シミュレーション