Art

J-GLOBAL ID：201702231199021864   Reference number：17A0129312

Improve yield and quality by monitoring particle contamination during optics manufacturing

オプティクス製造の粒子汚染モニタによる歩留まりと品質の改善

Author (1)： DAVIS John (Particle Measuring Systems, CO)
Material： Laser Focus World
Volume： 52  Issue： 12  Page： 53-55  Publication year： Dec. 2016 
JST Material Number： B0681B  ISSN： 1043-8092  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optics ,  *manufacturing ,  *pollution by particulate matter ,  *monitor ,  *quality ,  *yield(ratio) ,  clean room ,  laser ,  energy density ,  thin film ,  covering ,  facility and building ,  characteristic
Semi thesaurus term： power density ,  optical coating ,  test station ,  device characteristic

JST classification (2)： Optical devices in general  (BD06010L) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： オプティクス ,  粒子汚染 ,  モニタ ,  歩留まり