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J-GLOBAL ID：201702235149415565   Reference number：17A0549202

Roll to Rollナノパターニングによるデバイス開発

Author (4)： ABE MASAYUKI (旭化成) ,  ITO NAOTO (旭化成) ,  MATSUI SHINJI (兵庫県大 高度産業科技研) ,  OKADA MAKOTO (兵庫県大 高度産業科技研)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 64th  Page： ROMBUNNO.15p-512-6  Publication year： Mar. 01, 2017 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2436-7613  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *production method ,  nanostructure ,  *pattern formation ,  Electronics ,  *flexible circuit board ,  *high-resolution ,  *production technology ,  throughput ,  electron beam machining ,  conductor material ,  polyethylene terephthalate ,  roll to roll production method ,  aromatic polyester
Semi thesaurus term： roll to roll production method ,  *nanopatterning ,  flexible electronics

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (2)： ナノパターニング ,  開発