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J-GLOBAL ID：201702243508574043   Reference number：17A0027518

Dielectric Charging Characterization of Triboelectric Effects in MEMS Switches

MEMSスイッチにおける摩擦電気効果の誘電帯電特性化

Author (4)： Molinero David (WiSpry Inc., Irvine, CA, USA) ,  Cunningham Shawn (WiSpry Inc., Irvine, CA, USA) ,  DeReus Dana (WiSpry Inc., Irvine, CA, USA) ,  Morris Arthur S. (WiSpry Inc., Irvine, CA, USA)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 25  Issue： 4  Page： 737-743  Publication year： 2016 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microswitch ,  *MEMS ,  *triboelectricity ,  charge(battery) ,  *dielectrics ,  *reliability(property) ,  electrification(static charge) ,  *electric field effect ,  *surface charge ,  HF ,  ion transport ,  differential form ,  analytical solution ,  operation(processing) ,  voltage ,  voltage fluctuation ,  program package
Semi thesaurus term： MEMS switch ,  dielectric charging ,  high field effects ,  *RF MEMS ,  ion migration ,  closed form ,  analytic solution ,  click ,  引込電圧 ,  MATLAB

JST classification (3)： Relays and switches  (NA05060K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Terms in the title (4)： MEMSスイッチ ,  摩擦電気 ,  誘電帯電 ,  特性化