研究者
J-GLOBAL ID：200901001662559991   更新日: 2024年01月31日

松田 良信

マツダ ヨシノブ | Matuda Yoshinobu
所属機関・部署：
長崎大学 大学院工学研究科

長崎大学 大学院工学研究科 について


職名： 准教授
ホームページURL (2件)： http://www.eee.nagasaki-u.ac.jp/labs/plasma/index.html ,  http://www.eee.nagasaki-u.ac.jp/~plasma/matsuda/index.html
研究分野 (4件)： 薄膜、表面界面物性 ,  半導体、光物性、原子物理 ,  プラズマ科学 ,  プラズマ応用科学
研究キーワード (2件)： プラズマ理工学 ,  Plasma Science and Technology
競争的資金等の研究課題 (31件)：
  • 2019 - 2022 反射電界型エネルギー分析器による基板入射イオンエネルギー分布の測定
  • 2016 - 2019 負イオンエネルギー分布計測を可能とする減速電界エネルギー分析器の開発
  • 2012 - 2015 炭化水素プラズマ中の高次ラジカル・イオン制御による機能性膜の堆積法の開発研究
  • 2009 - 2012 次世代低環境負荷白色光源の開発
  • 2011 - 2012 液中プラズマを用いた炭素系膜の成膜・改質反応の実時間計測による解明
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論文 (248件)：
  • Yoshinobu Matsuda, Koki Watanabe, Shoma Uzunoe, Tomohiro Furusato. Energy distribution function of substrate incident negative ions in magnetron sputtering of metal-doped ZnO target measured by magnetized retarding field energy analyzer. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SL. SL1021-SL1021
  • Tomohiro Furusato, Mitsuru Sasaki, Yoshinobu Matsuda, Takahiko Yamashita. Underwater shock wave induced by pulsed discharge on water. Journal of Physics D: Applied Physics. 2022. 55. 11. 115203-115203
  • Tomohiro Furusato, Yuki Inada, Mitsuru Sasaki, Yoshinobu Matsuda, Takahiko Yamashita. Shock-wave propagation in supercritical CO2 induced by nanosecond-pulsed arc plasma. Journal of Physics D: Applied Physics. 2020. 53. 40. 40LT01-40LT01
  • Tomohiro Furusato, Kazushi Oura, Yoshinobu Matsuda, Mitsuru Sasaki, Yuki Inada, Takahiko Yamashita. Validation of the local thermodynamic equilibrium at a local current concentration area of positive pulsed surface discharge plasma on water. Japanese Journal of Applied Physics. 2020. 59. SHHA07-1-SHHA07-6
  • Reduction and uniformization of the resistivity of Ga-doped ZnO by combining short-gap magnetron sputtering and buffer layer. Jpn. J. Appl. Phys. 2019. 58. SEED04
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MISC (62件)：
  • 小玉 康太, 日巻 智裕, 篠原 正典, 松田 良信. Nd-Fe-B/Taスパッタ膜の磁気特性評価 (プラズマ パルスパワー 放電合同研究会・放電,プラズマ,パルスパワー). 電気学会研究会資料. PST. 2016. 2016. 75. 19-24
  • 坂本 康平, 佐藤 貴紀, 小山田 俊介, 松尾 直樹, 篠原 正典, 松田 良信. 軸外し傾斜基板を用いたAl添加ZnOのRFマグネトロンスパッタ成膜 (プラズマ パルスパワー 放電合同研究会・放電,プラズマ,パルスパワー). 電気学会研究会資料. PST. 2016. 2016. 75. 13-17
  • 篠原 正典, 木村 康男, 庭野 道夫, 松田 良信, 藤山 寛. シリコン表面のSi-Hの結合の赤外分光解析 (小特集 シリコン系太陽電池の高効率化に向けたプラズマCVDの科学) -- (表面反応と膜成長). プラズマ・核融合学会誌. 2015. 91. 5. 329-335
  • 吉田 裕太, 丸野 尚紀, 篠原 正典, 松田 良信, 藤山 寛. 多重内部反射赤外吸収分光法による液中プラズマと自己組織化単分子膜との反応解析. 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会. 2013. 2013. 86. 91-94
  • 篠原 正典, 丸野 尚紀, 谷口 雄二郎, 八木 翔平, 津村 高成, 松田 良信, 藤山 寛. Si結果への水素プラズマの照射効果の赤外分光解析. 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会. 2013. 2013. 74. 9-12
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書籍 (3件)：
  • ZnO Nanocrystals and Allied Materials
    springer india 2013 ISBN:9788132211594
  • 【最新】光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御」
    技術情報協会 2013 ISBN:9784861044854
  • メタルスパッタリングプラズマの高度化とその最新動向
    電気学会 メタルスパッタプラズマの高度化調査専門委員会編 2009
講演・口頭発表等 (89件)：
  • ZnO ターゲットと Cu ターゲットにおける基板入射イオンエネルギー分布関数の比較
    (プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第26回支部大会 2022)
  • 磁化反射電界型エネルギー分析器を用いたイオンエネルギー分布関数測定に及ぼす磁界強度の影響
    (プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第26回支部大会 2022)
  • 磁化反射電界型エネルギー分析器を用いた負イオンエネルギー分布関数測定における磁界強度の影響
    (2022 年(令和4年度)応用物理学会九州支部学術講演会 2022)
  • スパッタリング基板入射イオンエネルギー分布関数に及ぼすターゲット材料の影響
    (2022 年(令和4年度)応用物理学会九州支部学術講演会 2022)
  • Production and operational performance test of the second retarding field energy analyzer to use for measuring ion distribution function
    (The 39th Symposium on Plasma Processing/ The 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP39/SPSM34) 2022)
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Works (4件)：
  • 次世代低環境負荷白色光源の開発
    2009 - 2012
  • 金属添加酸化亜鉛透明導電膜スパッタ成膜過程におけるプラズマ支援効果
    2008 - 2011
  • 誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成
    2005 - 2008
  • 可能性試験「レーザ光を用いた透過光方式による血液中の炭酸ガス濃度の測定」
    2004 - 2005
学歴 (4件)：
  • - 1987 九州大学 総合理工学研究科 エネルギー変換工学
  • - 1987 九州大学
  • - 1982 京都大学 理学部 物理学
  • - 1982 京都大学
学位 (1件)：
  • 工学博士 (九州大学)
経歴 (12件)：
  • 2007/04 - 現在 長崎大学 大学院工学研究科 准教授
  • 1990 - 2006 長崎大学 助教授
  • 1990 - 2006 Associate Professor,Nagasaki University
  • 2006 - 長崎大学工学部電気情報工学講座 准教授
  • 2006 - Associate Professor,Electrical and Electronic ,Faculty of Engineering,Nagasaki University
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委員歴 (21件)：
  • 2022/04 - 現在 応用物理学会九州支部 役員
  • 2014/04 - 現在 プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口地区支部 役員
  • 2017/04 - 2018/03 2017年度第33回九州山口プラズマ研究会 幹事
  • 2015/04 - 2017/03 プラズマ・核融合学会 代議員
  • 2016/05 - 2016/12 2016年度応用物理学会九州支部講演会現地実行委員会 委員(受付担当)
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受賞 (10件)：
  • 2005 - 電気学会優秀論文発表賞
  • 2005 - IEEJ Excellent Presentation Award
  • 2004 - 応用物理学会九州支部講演奨励賞
  • 2003 - 電気学会論文発表賞B
  • 2000 - 応用物理学会九州支部講演奨励賞
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所属学会 (10件)：
プラズマ・核融合学会 ,  電気学会 ,  応用物理学会 ,  日本物理学会 ,  The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research ,  Institute of Electrical Engineers of Japan ,  The Physical Society of Japan ,  The Japan Society of Applied Physics ,  日本分光学会 ,  Spectroscopical Society of Japan
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