研究者
J-GLOBAL ID：200901002137428009
更新日: 2024年02月01日
明田川 正人
アケタガワ マサト | Aketagawa Masato
所属機関・部署：
長岡技術科学大学 大学院工学研究科 機械創造工学専攻
長岡技術科学大学 大学院工学研究科 機械創造工学専攻 について
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職名：
教授
ホームページURL (1件)：
http://mcweb.nagaokaut.ac.jp/~picotech/
研究分野 (1件)：
加工学、生産工学
研究キーワード (4件)：
ラージスケールディメンション
, ナノピコ計測制御
, 光計測制御
, 精密計測制御
競争的資金等の研究課題 (43件)：
2020 - 2023 超高分解変位計測・駆動システムによる空気中でのピコメートル位置決め制御
2019 - 2022 パルス列間隔長を用いた実時間高精度光ゲージの開発
2017 - 2020 多色周波数安定化LDと高速カメラによる絶対面形状・高速面内変位計測法の開発
2017 - 2019 計測要求に能動的なインライン絶対測長器の開発
2015 - 2017 正弦波周波数変調によるヨウ素安定化LDと超高分解能超高速干渉測長計の開発
2014 - 2017 多色光源による同時共鳴周波数追尾による空気中での絶対長さ測定
2015 - 2016 超高速計測可能な軸受不要誤差5自由度誤差計測装置の開発
2015 - 2016 半導体レーザの周波数変調による測長干渉計の開発
2015 - 2016 正弦波周波数変調によるヨウ素安定化LDと超高分解能超高速干渉測長計の開発
2014 - 2016 多色光源による同時共鳴周波数追尾による空気中での絶対長さ測定
2013 - 2015 マイクロナノ複雑構造が実現する近接場ふく射エネルギー輸送量の飛躍的増大
2013 - 2015 長さ標準になった光コムを用いた計測現場用高精度校正システムの開発
2013 - 2015 ミラー間距離が不変な光共振器を用いた恒温恒“絶対空気屈折率”チャンバーの開発
2014 - 2015 レーザーによる測長ー周波数変調によるホモダイン干渉計の実現
2014 - 2015 変調レーザを用いた測長法の開発-軸受不要5自由度誤差運動一括測定装置への応用
2012 - 2015 軸受の5自由度寄生運動の高精度高速一括計測システムの開発
2012 - 2014 軸受の5自由度寄生運動の高精度高速一括計測システムの開発
2009 - 2011 極地氷床氷の粒界の挙動と粒界拡散機構の解明
2009 - 2011 面領域の表面性状測定機を対象とした校正・測定標準面の製造と国際標準規格化
2008 - 2010 周波数標準にトレーサブルなサブナノメートル精度・絶対光学長測定法の開発
2004 - 2008 高分解能計測技術を用いた極地氷床氷のミクロ物性の解明と変形機構図の構築
2006 - 2007 精密軸受回転誤差の結晶格子を基準とするピコメートル直接計測法の開発
2005 - 2007 メートル標準に準拠し光路差を周波数から直接測定するピコメートル干渉測長法の開発
2004 - 2006 メゾスコピック凹凸・光整合電極を組込んだ高効率色素増感太陽電池システムの創製
2003 - 2004 表面凹凸データ解析用ツールの標準化を指向した広領域ソフトゲージと実量器の開発
2003 - 2004 マルチプローブによる結晶格子を基準とするピコメートルエリアエンコーダの開発
2002 - 2004 超高フィネス光共振器と結晶格子スケールによるピコメートル測長法の開発
2001 - 2002 結晶格子とレーザ干渉計を複合したメートル定義に直結した小型超精密絶対測長器の開発
2000 - 2001 アトムクラフトを支援する超精密安定2次元原子トラッキング制御の開発
2000 - 2001 等方性ランダム標準表面の試作と表面凹凸形状測定機の不確かさ解析
1999 - 2000 結晶格子表面の2次元原子配列を基準とする超精密デジタル角度基準の開発
1998 - 1999 結晶格子の原子配列を基準とする超精密直動機構の開発と測長・位置決めへの応用
1997 - 1999 接触記録型磁気ディスクを対象とした輪郭うねり形状の機能計測とヘッド跳躍振動解析
1998 - 1998 表面テクスチャの三次元測定規範と形状評価パラメータの国際標準化支援研究
1997 - 1998 結晶格子を用いた実時間2次元ナノベクトルエンコーダの開発とアトムクラフトへの展開
1996 - 1998 結晶格子をスケールとするサブナノメートル測長・加工機の開発研究
1996 - 1996 熱ドリフトフリー結晶格子ナノスケールの開発と格子NCマシーンへの適用
1995 - 1995 結晶格子スケールの高精度化と格子カウンターの試作(光波絶対測長との比較)
1990 - 1992 結晶格子を用いた超精密ディジタルリニアスケールの開発研究
圧電素子を用いた高速かつ滑らかに運動するステージの開発
同心円状回折格子干渉計を用いたスピンドルの誤差測定
韓国におけるサブナノメートル計測制御加工研究調査
ナノメートル領域までの表面粗さ測定を向上させる表面実量器の製作
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論文 (107件)：
Dong Wei, Yusuke Nagata, Motohisa Sano, Masato Aketagawa. A scanner error discriminator based on short-time Fourier transform in pulse train interferometry. Optics Communications. 2021. 488
Dong Wei, Yusuke Nagata, Motohisa Sano, Masato Aketagawa. Cluster analysis based fringe-activity range detector. Optics Communications. 2021. 483
Dong Wei, Yusuke Nagata, Motohisa Sano, Masato Aketagawa. Determining a bandpass filter for interfering fringe spectrum extraction using clustering analysis. Optical Engineering. 2021. 60. 3
Dong Wei, Yusuke Nagata, Masato Aketagawa. Sub-pixel visualization of the envelope peak in a pulse train interferometer. Optics Communications. 2020. 476
Dong Wei, Yusuke Nagata, Masato Aketagawa. Suppression of noise in modulation frequency range of interferometer using spectral subtraction method. Optics Communications. 2020. 475
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書籍 (1件)：
実用精密位置決め技術事典
産業技術サービスセンター 2008 ISBN:9784915957499
講演・口頭発表等 (64件)：
Displacement measurement using I2 frequency stabilized laser diode based on sinusoidal phase/frequency modulation
(LAMDAMAP2017 2017)
正弦波周波数変調による半導体レーザの周波数安定化と変位計測干渉計の開発
(光計測シンポジウム2016 2016)
Accurate displacement measurement using I2 frequency stabilized laser diode based on sinusoidal frequency modulation
(EOSAM2016 2016)
スピンドル誤差運動測定装置の開発 4,000rpm 時の誤差運動
(2016年度精密工学会春季大会学術講演会 2016)
Concurrent measurement method of spindle error motions using concentric circle grating and frequency modulation interferometers
(ISEEE2015 2015)
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学歴 (2件)：
- 1985 東京工業大学 総合理工学研究科 エネルギー科学専攻修士課程
- 1983 東京工業大学 理学部 応用物理学科
学位 (2件)：
博士(工学) (長岡技術科学大学)
理学修士 (東京工業大学)
経歴 (5件)：
2011/04/01 - 現在 長岡技術科学大学 機械系 教授
2007/04/01 - 2011/03/31 長岡技術科学大学 准教授
1999/01/01 - 2007/03/31 長岡技術科学大学 助教授
1991/06/01 - 1998/12/31 長岡技術科学大学 助手
1985/04/01 - 1990/12/31 キャノン株式会社 光学機器事業部・半導体機器開発センター・研究員
受賞 (8件)：
2017/11/15 - Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Best Paper Award
2013/11/15 - Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Best Paper Award
2012/11/01 - 新潟日報社 第65回新潟日報文化賞(学術部門) サブナノメートル・ピコメートル計測制御
2011/03/15 - 精密工学会 精密工学会論文賞 周波数可変ダイオードレーザを光源とする位相変調ホモダイン変位計測干渉計
2009/11/15 - Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Best Paper Award
2008/05/15 - Institute of Physicsイギリス物理学会 Measurement Science and Technology, Highly Commended Paper Award 2007
2006/03/10 - ファナックFAロボット財団 ファナックFAロボット財団賞 結晶格子と走査型トンネル顕微鏡を用いた原子トラッキング制御の高安定化-原子エンコーダの検証-
2005/03/17 - 精密工学会 精密工学会・論文賞
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所属学会 (5件)：
日本光学会
, アメリカ光学会(Optical Society of America)
, 応用物理学会
, American Society for Precision Engineering
, 精密工学会
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