研究者
J-GLOBAL ID:200901005853586366
更新日: 2007年09月25日
松本 圭司
マツモト ケイジ | Mstsumoto Keiji
所属機関・部署:
旧所属 東京大学 大学院工学系研究科 化学システム工学専攻
旧所属 東京大学 大学院工学系研究科 化学システム工学専攻 について
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職名:
大学院生(博士課程)
研究キーワード (2件):
反応速度論
, Reaction rate constant
競争的資金等の研究課題 (2件):
シリコンCVD過程の反応機構の解明
Reaction Mechanism of Silicon CVD
MISC (4件):
Photolysis of Disilane at 193nm. Journal of Phys. Chem. A. 1999. 103, 322
Photolysis of Disilane at 193nm. Journal of Phys. Chem. A. 1999. 103, 322
Mechanism and Product Branching Ratios of the SiH
3
+SiH
3
Reaction. Journal of Phys. Chem. 1996. 100, 8796
Mechanism and Product Branching Ratios of the SiH
3
+SiH
3
Reaction. Journal of Phys. Chem. 1996. 100, 8796
学歴 (4件):
- 1997 東京大学 工学系研究科 化学システム工学専攻
- 1997 東京大学
- 1995 東京大学 工学部 化学システム工学科
- 1995 東京大学
経歴 (2件):
1997 - - LCD(高機能反射型LCD)
1997 - - LCD
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