研究者
J-GLOBAL ID：200901006298877208   更新日: 2011年09月14日

古室 昌徳

コムロ マサノリ | Komuro Masanori
所属機関・部署：
独立行政法人産業技術総合研究所 つくば中央第二事業所 次世代半導体研究センター

独立行政法人産業技術総合研究所 つくば中央第二事業所 次世代半導体研究センター について


職名： 研究チーム長
競争的資金等の研究課題 (1件)：
  • 1.次世代リソグラフィ 2.計測技術
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