畑河内秀樹

ハタゴウチヒデキ | Hatagochi Hideki

所属機関・部署：
職名：所員

研究分野 (3件)：計測工学 , 機械力学、メカトロニクス , ナノマイクロシステム

研究キーワード (2件)：センサー , マイクロマシーン

論文 (3件)：

講演・口頭発表等 (15件)：

静電マイクロアクチュエータの試作研究
(日本大学理工学部学術講演会 2010)
Silicon MEMS Vibration Sensor fabricated using Processes including Anodic Bonding of Extremely thin(60μm-thick) Silicon Film on Glass Substrate
(2008)
NOVEL SILICON MEMS FABRICATION PROCESSES INCLUDING ANODIC BONDING OF EXTREMELY THIN(60μm-THICK) SILICON FILM OF GLASS SUBSTRATE
(2008)
マイクロ音さ型振動ジャイロの研究(マイクロ音さ型振動ジャイロの試作)
(日本大学理工学部学術講演会 2007)
ゾル-ゲル法を用いたPZT薄膜作製条件の検討
(日本大学理工学部学術講演会 2007)

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

経歴 (1件)：

所属学会 (3件)：

精密工学会 , 計測自動制御学会 , 日本機械学会

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畑河内 秀樹