研究者
J-GLOBAL ID:200901013944562055
更新日: 2022年09月10日
小川 博文
オガワ ヒロフミ | Ogawa Hirofumi
所属機関・部署:
独立行政法人産業技術総合研究所 産学官連携推進部 関東産学官連携推進室
独立行政法人産業技術総合研究所 産学官連携推進部 関東産学官連携推進室 について
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ホームページURL (1件):
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=H57276718
研究分野 (4件):
動物生理化学、生理学、行動学
, 生態学、環境学
, 材料力学、機械材料
, 薄膜、表面界面物性
研究キーワード (1件):
薄膜 機械的特性 MEMS 犬 猛禽
MISC (3件):
T Tsuchiya, M Hirata, N Chiba, R Udo, Y Yoshitomi, T Ando, K Sato, K Takashima, Y Higo, Y Saotome, et al. Cross comparison of thin-film tensile-testing methods examined using single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films. JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS. 2005. 14. 5. 1178-1186
Hirofumi Ogawa, Ryutaro Maeda, Kiyoteru Suzuki, Shinji Kaneko. Effect of Ar Gas Pressure on Mechanical Properties of Sputtered Ti Thin Films. IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2005. 125. 7. 313-318
小川 博文, 金子 新二, 鈴木 清輝, 坂 真澄. スパッタチタン薄膜の機械的特性(薄膜微細組織の透過電子顕微鏡観察). 日本機械学会論文誌(A編). 2002. 68. 672. 1279-1284
所属学会 (3件):
ヒトと動物の関係学会
, 日本鳥学会
, 日本機械学会
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