研究者
J-GLOBAL ID:200901015126779254   更新日: 2024年02月14日

佐藤 哲也

サトウ テツヤ | Tetsuya Sato
所属機関・部署:
職名: 准教授
ホームページURL (1件): http://www.szr.yamanashi.ac.jp/research/intro_lab/intro_tsato_lab
研究分野 (7件): グリーンサステイナブルケミストリー、環境化学 ,  複合材料、界面 ,  反応工学、プロセスシステム工学 ,  薄膜、表面界面物性 ,  半導体、光物性、原子物理 ,  プラズマ応用科学 ,  基礎物理化学
研究キーワード (6件): トンネル反応 ,  二次イオン質量分析 ,  薄膜 ,  プラズマ化学 ,  極低温 ,  原子・分子
論文 (7件):
特許 (1件):
講演・口頭発表等 (12件):
  • c-C4F8凝縮層への低速電子照射により銅基板上に低温形成した a-C:Fの物性評価
    (2022年第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
  • c-C4F8/Si(CH3)4混合凝縮層の電子照射による a-SiC:Fの低温合成
    (2022年第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
  • Fabrication and Characterization of Ge-based MIS structures
    (240th ECS Meeting 2021)
  • Al(CH3)3凝縮層の酸素プラズマ照射によるAl2O3低温形成と物性評価
    (第68回応用物理学会春季学術講演会 2021)
  • Synthesis of Super-hydrophobic PTFE Thin Films Using Electronic Excitation of c-C4F8 Condensed Gas
    (The 16th Pacific Polymer Conference 2019)
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学位 (2件):
  • Photodissociation Dynamics of Triatomic Molecules Studied by Laser and Mass Spectroscopic Techniques (東京農工大学)
  • 博士(工学) (東京農工大学)
経歴 (5件):
  • 2018/04/01 - 2019/03/31 新潟大学 理学部 非常勤講師
  • 2012/04/01 - 山梨大学 大学院医学工学総合研究部 准教授
  • 2001/07/01 - 2012/03/31 山梨大学 クリーンエネルギー研究センター 助教授
  • 1993/04/01 - 2001/06/30 山梨大学 工学部 助手
  • 1991/04/01 - 1993/03/31 日本学術振興会 特別研究員
委員歴 (1件):
  • 2019/04/01 - 2020/03/31 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会幹事
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