梅本宏信

ウメモトヒロノブ | Umemoto Hironobu

所属機関・部署：
その他の所属（所属・部署名・職名） (1件)：

ホームページURL (1件)： http://www.ipc.shizuoka.ac.jp/~thumemo/

研究分野 (1件)：基礎物理化学

競争的資金等の研究課題 (5件)：

MISC (68件)：

特許 (1件)：

書籍 (7件)：

講演・口頭発表等 (106件)：

水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性
(第14回Cat-CVD研究会 2017)
水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加効果
(第14回Cat-CVD研究会 2017)
ラジカルの発生とその反応
(第14回Cat-CVD研究会 2017)
B-atom release from metal wires boronized by non-explosive boron compounds
(82nd Annual Meeting of the Society of Chemical Engineers 2017)
Decomposition Processes of Polymers used for Photoresists by H Atoms Produced on Hot Wire Surfaces
(9th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference 2016)

学歴 (4件)：

学位 (1件)：

経歴 (1件)：

委員歴 (2件)：

所属学会 (4件)：

分子科学研究会 , 光化学協会 , 応用物理学会 , 日本化学会

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梅本 宏信