PANART KHAJORNRUNGRUANG

カチョーンルンルアンパナート | Khajornrungruang Panart

所属機関・部署：
職名：准教授

研究分野 (5件)：加工学、生産工学 , 計測工学 , 光工学、光量子科学 , ナノマイクロシステム , ナノ材料科学

研究キーワード (6件)：化学的機械研磨 , ナノスケール可視化 , 光応用計測 , Chemical Mechanical Polishing , Visualization in Nanoscale , Optical Applied Measurement

競争的資金等の研究課題 (12件)：

2021 - 2024 触媒活性型フラーレンナノ微粒子を用いた加工制御法に関する研究
2016 - 2019 ナノスケール加工現象における作用単粒子の三次元空間追跡法及び粒径計測法の確立
2015 - 2018 フラーレン複合型スマート研磨微粒子を用いた難加工材研磨メカニズムに関する研究
2013 - 2015 機上ポリシング加工現象観察装置の開発およびその現象解析
2011 - 2013 フラーレンナノ微粒子を用いた超精密加工技術に関する研究

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論文 (55件)：

Yutaka Terayama, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Hibiki Fujishima, Satomi Hamada, Yutaka Wada, Hirokuni Hiyama. Direct observation of removal of SiO2 nano-particles from silica surfaces: an evanescent field microscopy study and shear flow acting moment. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SH
Nakasaki Tatsuya, Kinoshita Yushi, Khajornrungruang Panart, Otabe Edmund Soji, Suzuki Keisuke. 研磨のためのSUAM二重磁石システムの研究. International Journal of Automation Technology. 2023. 15. 4. 503-511
Thitipat Permpatdechakul, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Shotaro Kutomi. Study on a Novel Peeling of Nano-Particle (PNP) Process for Localized Material Removal on a 4H-SiC Surface by Controllable Magnetic Field. International Journal of Automation Technology. 2023. 17. 4. 410-421
Thitipat Permpatdechakul, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Shotaro Kutomi. Proposal of a novel peeling of nano-particle (PNP) process for localized material removal on a hard material surface by controllable magnetic fields. European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 22nd International Conference and Exhibition, EUSPEN 2022. 2022. 279-280
Aran Blattler, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Akiyoshi Baba, Daiki Goto. Absolute longitudinal distance measurement verification of a standard polystyrene nanoparticle near a surface in water by means of multi-wavelength evanescent field. European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 22nd International Conference and Exhibition, EUSPEN 2022. 2022. 385-388

MISC (156件)：

Yutaka Terayama, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Ryotaro Mori, Satomi Hamada, Yutaka Wada, Hirokuni Hiyama. Real Time Nanoscale Cleaning Phenomenon Observation During Enforcing MHz Wave By Evanescent Field. ECS Meeting Abstracts. 2022. 108. 4. 17-23
寺山裕, カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 森稜太朗, 濵田聡美, 和田雄高, 檜山浩國. エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究-第5報:サブ50nmシリカ超微粒子観測の優位性. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2022. 2022S. 126-126
松本龍之介, 鈴木恵友, 弘田廉, カチョーンルンルアンパナート. 低屈折透明パッドによる研磨微粒子の挙動観察に関する研究. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2021. 2021A. 110-111
Saenna Soraya, Khajornrungruang Panart, 鈴木恵友, Blattler Aran, Permpatdechakul Thitipat. SiC表面上におけるナノ砥粒挙動の数値解析-シリカ砥粒が被ポリシング表面への付着形態. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2021. 2021A. 126-127
パームパッデーチャークンティティパット, カチョーンルンルアンパナート, 鈴木恵友, 馬場昭好. 局在光によるナノ研磨現象観測に関する研究-第2報: 4H-SiC基板ポリシングにおけるナノシリカ砥粒挙動可視化の試み. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2021. 2021A. 102-103

特許 (40件)：

講演・口頭発表等 (166件)：

近接場光による非接触式工具先端位置検出法
(年次大会 2017)
超伝導バルクを利用した磁気浮上工具による中空加工技術に関する研究
(精密工学会学術講演会講演論文集 2017)
低屈折率の透明樹脂パッドを用いたCMPにおけるモニタリング技術に関する研究
(精密工学会学術講演会講演論文集 2017)
ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究
(精密工学会学術講演会講演論文集 2017)
Proposal of Optical Measurement Method for 3D Single Nanoparticle Position Near a Surface
(the 21th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization 2017)

Works (8件)：

ナノスケール加工現象における作用単粒子の三次元空間追跡法及び粒径計測法の確立
2016 - 2019
機上ポリシング加工現象観察装置の開発およびその現象解析
2013 - 2015
レーザ一次回折光を用いた超微細穴加工工具の高精度化及び計測システムの開発
2011 - 2012
パルスレーザ光を用いた回転工具形状測定装置ならびにシステム
2011 - 2012
(AS2311249B)レーザー次回折光を用いた超微細穴加工工具の高精度化及び計測システムの開発
2011 -

学歴 (3件)：

- 2005 大阪大学大学院工学研究科 (専攻)機械システム工学専攻
- 2002 大阪大学大学院工学研究科 (専攻)機械システム工学専攻
- 2000 大阪大学工学部機械工学科

学位 (1件)：

博士(工学) (大阪大学)

経歴 (8件)：

2019 - 現在九州工業大学大学院情報工学研究院知的システム工学研究系先進機械部門准教授
2016 - 現在北九州工業高等専門学校生産工学専攻非常勤講師
2016 - 2019 九州工業大学大学院情報工学研究院機械情報工学研究系准教授
2014 - 2016 九州工業大学大学院情報工学研究院機械情報工学研究系助教
2013 - 2014 クラークソン大学(米国) 特任准教授

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委員歴 (9件)：

2011 - 現在公益財団法人精密工学会アフィリエイト委員会
2008 - 現在公益財団法人精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
2008 - 現在公益社団法人精密工学会知的ナノ計測専門委員会
2022 - 2023 公益財団法人精密工学会 2023年度精密工学会秋季大会実行委員・国際シンポジウム委員
2014 - 2018 日本光学会事業・企画担当幹事

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受賞 (2件)：

2013 - 公益財団法人工作機械技術振興財団工作機械技術振興財団奨励賞光回折を用いたCMP用ポリシングパッドの表面形状評価に関する研究
2005/03 - 公益社団法人自動車技術会自動車技術会大学院研究奨励賞光回析ゲージ法を用いたマイクロ工具切れ刃プロファイルのオンマシン計測に関する研究

所属学会 (7件)：

日本光学会 , ヨロッパ精密工学会 , 砥粒加工学会 , 日本機械学会 , 精密工学会 , The Optical Society of Japan , euspen

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