研究者
J-GLOBAL ID:200901019630951063
更新日: 2022年08月20日
佐々木 都至
ササキ サトシ | Sasaki Satoshi
所属機関・部署:
旧所属 大阪大学 大学院工学研究科 超精密科学研究センター
旧所属 大阪大学 大学院工学研究科 超精密科学研究センター について
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職名:
非常勤研究員
研究キーワード (4件):
応用光学
, 光散乱
, Application Optics
, Optical scattering
競争的資金等の研究課題 (2件):
1996 - 光散乱法によるSiウエハ表面上のナノ欠陥とラフネスの計測
1996 - Measurement for a nano-difects and roughness using Light Scattering method
MISC (3件):
佐々木 都至, 安 弘, 森 勇藏, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 山内 和人, 井上 晴行. ナノパーティクル測定機によるシリコンウエハ面のナノ欠陥計測. 精密工学会誌. 2002. 68. 9. 1200-1205
佐々木都至, 安弘, 森勇蔵, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 井上春行. レーザー光散乱法によるSiウエハ表面上のナノパーティクルの計測. 精密工学会誌. 2001. 67. 11. 1818-1823
安 弘, 佐々木 都至, 森 勇蔵, 片岡 俊彦, 遠藤 勝義, 井上 晴行, 山内 和人, 谷口 浩之. 光散乱法によるナノメータオーダーの粒径測定法の開発(第5報)-Siウエハ表面に対する洗浄前後の微粒子測定による表面評価-. 精密工学会誌. 1999. 65. 10. 1435-1439
学歴 (6件):
- 1999 大阪電気通信大学大学院 工学研究科 制御機械工学専攻
- 1999 Osaka Erectro Communication University Graduate School, Division of Engineering Mechanical and Control Engineering
- 1997 大阪電気通信大学 工学部 電気機械工学科
- 1997 大阪電気通信大学大学院 工学研究科 制御機械工学専攻
- 1997 Osaka Erectro Communicate University Faculty of Engineering Electro-Mechanical Engineering
- 1997 Osaka Erectro Communicate Graduate School, Division of Engineering Mechanical and Control Engineering
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学位 (2件):
修士(工学) (大阪電気通信大学)
博士(工学) (大阪電気通信大学)
経歴 (1件):
2002 - 2003 大阪電気通信大学 客員研究員
受賞 (2件):
2002 - 精密工学会賞
1999 - 日本機械学会生産加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰
所属学会 (2件):
精密工学会
, The Japan Society for Precision Engineering
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