瀬木利夫

セキトシオ | Seki Toshio

所属機関・部署：
職名：講師
その他の所属（所属・部署名・職名） (1件)：

研究分野 (5件)：量子ビーム科学 , 材料加工、組織制御 , 応用物理一般 , 薄膜、表面界面物性 , ナノ構造化学

研究キーワード (7件)：二次イオン質量分析 , クラスター , 量子ビーム科学 , ナノ構造材料 , ノズル , ナノ加工 , クラスターイオンビーム

競争的資金等の研究課題 (7件)：

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論文 (150件)：

Toshio Seki, Hiroki Yamamoto, Kunihiko Koike, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo. High aspect (>20) etching with reactive gas cluster injection. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2022. 61. SI. ARTN SI1007
Masaki Hada, Kotaro Makino, Hirotaka Inoue, Taisuke Hasegawa, Hideki Masuda, Hiroo Suzuki, Keiichi Shirasu, Tomohiro Nakagawa, Toshio Seki, Jiro Matsuo, et al. Phonon transport probed at carbon nanotube yarn/sheet boundaries by ultrafast structural dynamics. CARBON. 2020. 170. 165-173
Toshio Seki, Tomoya Nonomura, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo. MeV-SIMS measurement of lithium-containing electrolyte. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. 2020. 479. 229-232
Toshio Seki, Kenta Ishii, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo. Secondary ion mass spectrometry measurements under ambient and humid conditions using MeV ions. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. 2020. 38. 3. ARTN 034014
Hubert Gnaser, Rika Oki, Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo. Optimized Alkali-Metal Cationization in Secondary Ion Mass Spectrometry of Polyethylene Glycol Oligomers with up to m/z 10000: Dependence on Cation Species and Concentration. ANALYTICAL CHEMISTRY. 2020. 92. 1. 1511-1517

MISC (80件)：

瀬木利夫. 大気圧MeV-SIMSの開発と固液界面分析. Journal of Surface Analysis. 2020. 26. 3. 254-259
瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎. 招待講演新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析 (光・量子デバイス研究会微細加工技術とバイオ・メディカル応用). 電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan. 2018. 2018. 22. 29-33
瀬木利夫, 山本洋揮, 古澤孝弘, 荘所正, 小池国彦, 青木学聡, 松尾二郎. 反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2方向エッチングによる3D構造の作成. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2018. 65th
瀬木利夫, 荘所正, 小池国彦, 山本洋揮, 古澤孝弘, 青木学聡, 松尾二郎. ClF₃中性クラスター斜め2方向照射によるレバー構造の作成. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2017. 64th
Kusakari M., Fujii M., Seki T., Aoki T., Matsuo J. Development of ambient SIMS using MeV-energy ion probe. Annual report of Quantum Science and Engineering Center. 2016. 18. 21-25

特許 (24件)：

書籍 (2件)：

講演・口頭発表等 (259件)：

Ambient Secondary Ion Mass Analysis with MeV-energy Heavy Ion
(11th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’17 (ALC`17) 2017)
Fabrication of 3D structure by double-angled etching with reactive gas cluster injection
(The 39th International Symposium on Dry Process(DPS2017) 2017)
Characterization of Bio-Molecules with GCIBSIMS equipped with MS/MS Spectrometer
(AVS 64th International Symposium & Exhibition 2017 (AVS64) 2017)
Organic Material Analysis with a SIMS System with Q-TOF MS/MS Technique
(The 8th International Symposium on Surface Science (ISSS-8) 2017)
Ambient SIMS using MeV-Energy Heavy Ion
(The 23rd International Conference on Ion Beam Analysis (IBA-2017) 2017)

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (4件)：

委員歴 (13件)：

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受賞 (2件)：

2016/11 - The 38th International Symposium on Dry Process (DPS2016) Best Presentation Award
1998 - イオン注入学会 Best Student賞

所属学会 (1件)：

応用物理学会

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瀬木 利夫