研究者
J-GLOBAL ID：200901027604265790   更新日: 2020年05月01日

浜垣 学

ハマガキ マナブ | Hamagaki Manabu
所属機関・部署：
独立行政法人理化学研究所 和光研究所 中央研究所 先端技術開発支援センター 支援展開チーム

独立行政法人理化学研究所 和光研究所 中央研究所 先端技術開発支援センター 支援展開チーム について


職名： 先任技師
競争的資金等の研究課題 (8件)：
  • 成膜
  • 酸化・窒化などの表面処理
  • 低エネルギーイオンプロセス
  • プラズマ表面処理
  • イオン源
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MISC (5件)：
Works (1件)：
  • 電子ビーム励起プラズマを用いた成膜装置・イオン源の研究・開発
学歴 (1件)：
  • - 1976 東京電機大学
学位 (1件)：
  • 工学博士
経歴 (3件)：
  • 2004 - 理化学研究所先端技術開発センター支援展開チーム
  • 1991 - 1998 核融合科学研究所共同研究員兼任
  • 1992 - 理化学研究所プラズマ物理研究室先任技師
受賞 (1件)：
  • 2003 - 応用物理学会第1回プラズマエレクトロニクス賞
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