研究者
J-GLOBAL ID：200901032941634343   更新日: 2009年03月24日

檜和田 徹

ヒワダ トオル | Hiwada Tohru
所属機関・部署：
ファジィシステム研究所 研究部

ファジィシステム研究所 研究部 について


職名： 研究員
ホームページURL (2件)： http://www.ksrp.or.jp/shisetsu/semicon1.html ,  http://flsi.cird.or.jp/
研究分野 (3件)： 電子デバイス、電子機器 ,  ナノマイクロシステム ,  ナノ材料科学
研究キーワード (5件)： MEMS ,  集積化 ,  マイクロマシン ,  Integration ,  MEMS
競争的資金等の研究課題 (2件)：
  • MEMSに必要とされる要素技術の確立.
  • Establishment of element technology used for MEMS
学歴 (4件)：
  • - 1999 山形大学 理学研究科 物理学
  • - 1999 山形大学
  • - 1997 山形大学 理学部 物理学科
  • - 1997 山形大学
学位 (1件)：
  • 修士(理学) (山形大学)
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