研究者
J-GLOBAL ID:200901032956542496
更新日: 2011年12月22日
黒河内 靖子
クロゴウチ ヤスコ | Kurogouchi Yasuko
所属機関・部署:
職名:
主任研究員
研究キーワード (4件):
走査型電子顕微鏡
, 金属薄膜
, Scanning electron microscopy
, Metallic thin film
競争的資金等の研究課題 (2件):
- 2005 - MEMS技術による運動センサの開発
- 2002 - 2004 超精密マイクロ加工機による回折格子作製技術の開発と形状評価
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