研究者

J-GLOBAL ID：200901034079869180 更新日: 2007年09月25日

山口光臣

ヤマグチミツオミ | Yamaguchi Mitsuomi

所属機関・部署：
職名：大学院生

研究キーワード (6件)：ナノ構造 , スパッタリング , 薄膜 , Nano-Structure , Sputtering , Thinfilm

MISC (2件)：

対向ターゲット型スパタリング装置内のアルゴン原子の流れ. 第50回応用物理学会関係連合講演会公演予稿集NO1. 2003. 2003年春季. 1. 518
対向ターゲット型マグネトロンスパタリングにより成膜されたNiTi(x)形状記憶合金の特性と素子の制御性. 第14回日本MRS学術シンポジウム(21世紀を創る先進的かつ総合的材料研究)プログラム要旨集. 2002. 14. 55

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