研究者
J-GLOBAL ID:200901034079869180
更新日: 2007年09月25日
山口 光臣
ヤマグチ ミツオミ | Yamaguchi Mitsuomi
所属機関・部署:
旧所属 鹿児島大学 大学院理工学研究科(工学系) ナノ構造先端材料工学専攻
旧所属 鹿児島大学 大学院理工学研究科(工学系) ナノ構造先端材料工学専攻 について
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職名:
大学院生
研究キーワード (6件):
ナノ構造
, スパッタリング
, 薄膜
, Nano-Structure
, Sputtering
, Thinfilm
MISC (2件):
対向ターゲット型スパタリング装置内のアルゴン原子の流れ. 第50回応用物理学会関係連合講演会 公演予稿集NO1. 2003. 2003年春季. 1. 518
対向ターゲット型マグネトロンスパタリングにより成膜されたNiTi(x)形状記憶合金の特性と素子の制御性. 第14回日本MRS学術シンポジウム(21世紀を創る先進的かつ総合的材料研究)プログラム要旨集. 2002. 14. 55
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