平井亜紀子

ヒライアキコ | Hirai Akiko

所属機関・部署：
職名：グループ長
ホームページURL (1件)： http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=A35249035

研究分野 (1件)：光工学、光量子科学

研究キーワード (4件)：低コヒーレンス干渉 , 干渉 , 光学計測 , 計量標準

競争的資金等の研究課題 (5件)：

論文 (77件)：

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda. Evaluation of the change in photoresist sidewall roughness due to electron beam-induced shrinkage using atomic force microscopy. Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology. 2023. 22. 04
Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi. Developmental framework of line edge roughness reference standards for next-generation functional micro-/nanostructures. Precision Engineering. 2023. 83. 152-158
Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi. Effect of white noise on roughness measurements of self-affine fractals. Measurement Science and Technology. 2023. 34. 10. 105003-105003
Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda. Photoresist shrinkage observation by a metrological tilting-AFM. Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII. 2023
Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda. Enhancing the precision of 3D sidewall measurements of photoresist using atomic force microscopy with a tip-tilting technique. Journal of Applied Physics. 2023. 133. 6. 065302-065302

MISC (18件)：

横山修子, 堀泰明, 横山敏之, 平井亜紀子. 非線形誤差10pm以下を実現した空間分離型ヘテロダイン干渉変位計. 光計測シンポジウム論文集. 2016. 25-28
平井亜紀子. メートル原器の今昔. 計量史研究. 2015. 37. 1. 1-5
平井亜紀子. 干渉計測. 光学. 2013. 42. 4. 186-188
高辻利之, 美濃島薫, 鍜島麻理子, 寺田聡一, 平井亜紀子, 堀泰明, 尾藤洋一, 権太聡, 大澤尊光, 近藤余範, et al. 長さ計測分野における計量標準の整備・供給状況と今後. 計測標準と計量管理. 2010. 60. 3. 11-21
堀泰明, 平井亜紀子, 美濃島薫. ガラスの屈折率標準の確立に向けた取り組み. 光学. 2010. 39. 3. 136-140

※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。登録・更新については、こちらをご覧ください。

平井 亜紀子