研究者
J-GLOBAL ID：200901035718989830   更新日: 2020年04月30日

松村 昭作

マツムラ ショウサク | Matsumura Shosaku
所属機関・部署：
旧所属 武蔵工業大学 工学部 電気電子工学科

旧所属 武蔵工業大学 工学部 電気電子工学科 について


職名： 教授
研究分野 (2件)： 計測工学 ,  薄膜、表面界面物性
研究キーワード (4件)： プラズマ源 ,  プラズマ計測 ,  Plasma Source ,  Plasma Diagnostic
競争的資金等の研究課題 (4件)：
  • 1995 - 2002 プラズマ中の負イオン計測
  • 1995 - 2002 Measurement Negative Ion in Plasma
  • 1990 - 2000 プロセスプラズマの計測
  • 1990 - 2000 diagnostics of Plasma Processing
MISC (20件)：
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学歴 (3件)：
  • - 1968 静岡大学 工学研究科 電気工学
  • - 1968 静岡大学
  • - 1966 静岡大学 工学部 電気工学科
学位 (1件)：
  • 工学博士 (名古屋大学)
経歴 (5件)：
  • 1993 - - 同大学 教授
  • 1993 - - Professor, Musashi-Institute of Technology
  • 1968 - 1976 武蔵工大 助手
  • 1968 - 1976 Research Associate, Musashi-Institute of
  • Technology
委員歴 (1件)：
  • 1994 - 1996 応用物理学会 世話人
所属学会 (2件)：
応用物理学会 ,  The Japan Society of Applied Physics
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