研究者
J-GLOBAL ID:200901036470194904
更新日: 2024年01月30日
櫻庭 政夫
サクラバ マサオ | Sakuraba Masao
所属機関・部署:
職名:
准教授
ホームページURL (1件):
http://www5a.biglobe.ne.jp/~tenrou/
研究分野 (4件):
電気電子材料工学
, 薄膜、表面界面物性
, 結晶工学
, 応用物性
研究キーワード (6件):
高集積化プロセス
, プラズマ化学気相成長
, エピタキシャル成長
, IV族半導体
, 量子効果デバイス
, 歪ヘテロ構造
競争的資金等の研究課題 (28件):
- 2016 - 現在 ナノ薄膜の結晶構造変換プロセスに関する研究
- 2001 - 現在 高度歪IV族半導体エピタキシャル成長のための低損傷基板非加熱プラズマCVDプロセスに関する研究
- 1995 - 現在 先端材料・ナノ構造の評価分析方法に関する研究
- 1994 - 現在 IV族半導体量子へテロナノデバイスの製作と高性能化に関する研究
- 1989 - 現在 IV族半導体高度歪量子へテロ構造の高集積化プロセスに関する研究
- 2022 - 2025 エッジ応用に向けた超低消費電力スパイキングニューラルネットワークハードウェア
- 2018 - 2020 Si極薄膜における低エネルギープラズマ誘起再配列による結晶構造転換の実験的研究
- 2015 - 2018 サブ原子層カーボンの媒介による緩和Ge薄膜と量子ドットの選択的形成とデバイス応用
- 2012 - 2015 サーファクタント媒介による緩和Ge薄膜結晶の形成とデバイス応用
- 2011 - 2014 IV族半導体高度歪量子ヘテロ共鳴トンネル素子の高性能化プロセス
- 2007 - 2009 室温動作を可能にするIV族半導体量子デバイスの製作
- 2007 - 2009 CVD原子層積層による高キャリア濃度・高移動度IV族半導体人工結晶の創成
- 2006 - 2009 ナノスケールデバイスにおける界面物性揺らぎと雑音
- 2006 - 2009 IV族系量子デバイス製作のための原子層制御プラズマプロセスの構築
- 2006 - 2008 非古典的ナノヘテロデバイス実現のためのヘテロ界面に関する先駆的基盤研究
- 2004 - 2006 IV族半導体原子層制御による電子帯変調と量子トンネル構造形成
- 2003 - 2005 IV族半導体原子層積層ヘテロ人工結晶の創成
- 2001 - 2003 超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成
- 1999 - 2003 人工IV族半導体の形成と光・電子物性制御
- 2000 - 2002 Si-Ge-C-N系原子層積層による共鳴トンネルダイオードの製作
- 1999 - 2001 高集積通信システム製作のためのSiGe系MOS-HBT技術の開発
- 1999 - 2000 Si-Ge系エピタキシャル成長による超高濃度不純物半導体の形成とその物性
- 1998 - 1998 Si系アモルファス絶縁薄膜の表面構造敏感エッチングと原子制御
- 1998 - 1998 IV族半導体極微細構造形成プロセスに関する研究
- 1996 - 1998 ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作するIV族半導体極微細デバイス
- 1997 - 1997 IV族半導体薄膜へのタングステンのデルタド-ピング
- 1996 - 1996 IV族半導体極微細構造形成プロセスに関する研究
- 1996 - 1996 IV族半導体極微細構造形成プロセスに関する研究
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論文 (216件):
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Yifan Dai, Hideaki Yamamoto, Masao Sakuraba, Shigeo Sato. Computational Efficiency of a Modular Reservoir Network for Image Recognition. Frontiers in Computational Neuroscience. 2021. 15
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Yoshihiro Osakabe, Shigeo Sato, Hisanao Akima, Mitsunaga Kinjo, Masao Sakuraba. Learning rule for a quantum neural network inspired by Hebbian learning. IEICE Transactions on Information and Systems. 2021. E104D. 2. 237-245
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Wu Li, Masao Sakuraba, Shigeo Sato. Electron-cyclotron resonance Ar plasma-induced electrical activation of B atoms without substrate heating in B doped Si epitaxial films on Si(100). Materials Science in Semiconductor Processing. 2020. 107
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佐藤茂雄, 田村祐樹, 守谷 哲, 加藤達暉, 櫻庭政夫, 堀尾喜彦, Jordi Madrenas. A spiking neuron MOS circuit for low-power neuromorphic computation. Proceedings of International Symposium on Nonlinear Theory and Its Applications. 2019. 80-80
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Yuki Tamura, Satoshi Moriya, Tatsuki Kato, Masao Sakuraba, Yoshihiko Horio, Shigeo Sato. An Izhikevich model neuron MOS crcuit for low voltage operation. Proceedings of 28th International Conference on Artificial Neural Networks. 2019. 718-723
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MISC (14件):
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栗原 祥太, 守谷 哲, 秋間 学尚, 櫻庭 政夫, 佐藤 茂雄. 深層神経回路網のハードウェア実装におけるシナプス荷重値分解能に関する研究 (ニューロコンピューティング). 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報. 2016. 116. 59. 23-28
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刑部 好弘, 佐藤 茂雄, 秋間 学尚, 櫻庭 政夫, 金城 光永. C-8-20 脳型計算の学習則を導入した断熱的量子計算手法の検討(C-8.超伝導エレクトロニクス,一般セッション). 電子情報通信学会総合大会講演論文集. 2016. 2016. 2. 48-48
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林茂人, 福田幸夫, 室田淳一, 櫻庭政夫, 小野俊郎. ナノ多層構造酸窒化誘電体の電気的特性. 精密工学会東北支部学術講演会講演論文集. 2011. 9-10
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小野俊郎, 室田淳一, 櫻庭政夫, 豊田宏, 福田幸夫. ECRスパッタ法による高誘電体ゲート膜の基板界面品質制御. 東北大学電気通信研究所研究活動報告. 2011. 17. 112-114
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櫻庭 政夫, 武藤 大祐, 森 聖樹, 菅原 勝俊, 室田 淳一. ECRプラズマCVDによるIV族半導体エピタキシャル成長. 電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会. 2006. 2006. 15. 39-43
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特許 (17件):
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半導体デバイス
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電界効果トランジスタ及びその製造方法
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SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A METAL-SEMICONDUCOR JUNCTION WITH A REDUCED CONTACT RESISTANCE
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半導体装置
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SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A METAL-SEMICONDUCOR JUNCTION WITH A REDUCED CONTACT RESISTANCE
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書籍 (7件):
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Chapter 4: Low-Energy Plasma CVD for Epitaxy and In-Situ Doping of Group-IV Semiconductors in Nanoelectronics (in "Chemical Vapor Deposition (CVD): Types, Uses and Selected Research" (ebook), Edited by Monica Powell, https://www.novapublishers.com/catalog
Nova Science Publishers, Inc. 2017 ISBN:9781536109085
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Chapter 4: Low-Energy Plasma CVD for Epitaxy and In-Situ Doping of Group-IV Semiconductors in Nanoelectronics (in "Chemical Vapor Deposition (CVD): Types, Uses and Selected Research" (Book), Edited by Monica Powell, pp.61-115, https://www.novapublishers.c
Nova Science Publishers, Inc. 2017 ISBN:9781536108934
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薄膜ハンドブック(第2版,日本学術振興会薄膜第131委員会編), http://bit.ly/1Qt1cTk
オーム社 2008 ISBN:9784274205194
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新訂版・表面科学の基礎と応用, http://bit.ly/1T0TZRl
エヌ・ティー・エス社 2004 ISBN:4860430514
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21世紀版・薄膜作成応用ハンドブック, http://bit.ly/1LBSnFw
エヌ・ティー・エス社 2003 ISBN:9784860430191
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講演・口頭発表等 (303件):
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Epitaxy and In-Situ Doping of Group-IV Semiconductors by Low-Energy Plasma CVD for Nanoelectronics
(11th Int. WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics 2018)
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Si-Ge Alloy and Si Epitaxy by Low-Energy Plasma CVD for Semiconductor Device Fabrication
(JSPS - FZ-Juelich Workshop -Atomically Controlled Processing for Ultra-large Scale Integration- 2016)
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Epitaxy and In-Situ Doping of Group-IV Semiconductors by Low-Energy Plasma CVD for Quantum Heterointegration in Nanoelectronics
(Energy Materials Nanotechnology (EMN) Meeting on Epitaxy 2016)
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Electronic Properties of Si/Si-Ge Alloy/Si(100) Heterostructures Formed by ECR Ar Plasma CVD without Substrate Heating
(7th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-VII) & Int. SiGe Technol. and Device Meeting (ISTDM 2016) 2016)
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In-Situ B Doping Control in Si Film Deposition Using ECR Ar Plasma CVD without Substrate Heating
(7th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-VII) & Int. SiGe Technol. and Device Meeting (ISTDM 2016) 2016)
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学歴 (3件):
- 1992 - 1995 東北大学 大学院工学研究科 電気及通信工学専攻 博士後期課程, 博士(工学)
- 1990 - 1992 東北大学 大学院工学研究科 電気及通信工学専攻 博士前期課程, 修士(工学)
- 1986 - 1990 東北大学 工学部 電気工学科, 学士(工学)
学位 (1件):
経歴 (6件):
委員歴 (11件):
- 2014/03 - 現在 (社)応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 ULSIデバイス研究委員会, 幹事
- 2013/04 - 2015/03 (社)応用物理学会 論文賞委員会
- 2010/04 - 2012/03 (社)応用物理学会 和文機関紙「応用物理」編集委員会委員
- 2008/02 - 2010/01 (社)電気学会 新IV族原子制御デバイス材料技術調査専門委員会 幹事補佐
- 2008/01 - 2009/12 (社)応用物理学会 東北支部 庶務幹事
- 2007/05 - 2009/05 (社)電気学会 東北支部 協議員
- 2006/02 - 2008/01 (社)電気学会 IV族系ヘテロ超微細デバイス材料技術調査専門委員会 幹事補佐
- 2005/05 - 2007/05 電気関係学会東北支部連合大会 会計幹事
- 2005/05 - 2007/05 (社)電気学会 東北支部 会計幹事
- 2004/02 - 2006/01 (社)電気学会 IV族系へテロデバイス・システム材料技術調査専門委員会 幹事補佐
- 2002/02 - 2004/01 (社)電気学会 超高速SiGeデバイス材料技術調査専門委員会 幹事補佐
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受賞 (3件):
- 2015/11/27 - (財)石田實記念財団 平成27年度 石田實記念財団 研究奨励賞 「IV族半導体量子ヘテロ構造高集積化のためのプラズマCVDプロセスに関する研究」
- 2002/03/26 - (財)トーキン科学技術振興財団 第12回(平成13年度) トーキン科学技術振興財団 研究奨励賞 「原子層積層によるIV族半導体量子ヘテロ構造の製作」
- 1992/08/26 - 固体素子・材料に関する国際会議 1992年 固体素子・材料に関する国際会議 新人研究者賞 【対象論文】 “Atomic Layer Control of Germanium and Silicon on Silicon Using Flash Heating in Ultraclean Chemical Vapor Deposition”
所属学会 (2件):
The Electrochemical Society
, 応用物理学会
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