- 2006 - 2008 UHVスパッタリング法によるIII-V窒化物半導の合成
- 2003 - 2005 UHVスパッタリング法によるIII-V窒化物半導の合成
- 2004 - 2005 アモルファス炭素系薄膜の科学
- 1998 - 1999 スパッタリングを用いたプローブの表面処理とその応用
- 1997 - 1998 凹凸を有する基板への成膜技術に関する研究
- 1996 - 1997 マグネトロンスパッタリングによる薄膜の作成とその応用に関する研究
- 1994 - 1996 ダイヤモンド薄膜の低温合成とその応用
- 1994 - 1995 高周波プラズマによる薄膜の作成とその応用技術に関する研究
- 1993 - 1994 高周波プラズマによる硬質炭素膜の作成とその応用技術に関する研究
- 1993 - 1994 シルバーカーの開発および試作
- 1993 - 1993 高周波プラズマによる硬質炭素膜の作成とその応用
- 1991 - 1992 SITの応用に関する調査および研究
- 1986 - 1987 プラズマプロセシングによる高性能材料合成に関する研究
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