研究者
J-GLOBAL ID：200901038161606290   更新日: 2024年04月11日

清水 淳

シミズ ジュン | SHIMIZU Jun
所属機関・部署：
茨城大学 理工学研究科(工学野) 機械システム工学領域

茨城大学 理工学研究科(工学野) 機械システム工学領域 について


職名： 教授
ホームページURL (1件)： https://sites.google.com/site/nlabibarakiuniv/
研究分野 (3件)： 機械要素、トライボロジー ,  加工学、生産工学 ,  設計工学
研究キーワード (1件)： ナノトライボロジー,ナノスクラッチング,表面テクスチャ,陽極酸化,光触媒,電極リソグラフィー,エッチング,分子動力学,走査型プローブ顕微鏡,切削,研削,放電加工,レーザ加工
競争的資金等の研究課題 (33件)：
  • 2023 - 2027 ナノ加工・計測を駆使したダメージ層を最小化する次世代半導体基板研削機構の解明
  • 2023 - 2025 ナノスクラッチによる単結晶サファイアの加工異方性とダイヤモンド工具損耗機構の解明
  • 2021 - 2025 超解像Raman断層計測を用いた結晶損傷発生機構の解明と先端加工技術への応用
  • 2020 - 2023 実験結果を考慮した分子動力学解析の新たな試みによる弱点克服とトライボ現象の解明
  • 2022 - 2023 半導体材料に対する切削現象の把握、および加工ダメージの定量評価
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論文 (283件)：
  • 小貫哲平, 柴教一郎, 黒田隼乃介, 茂垣有亮, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波. 顕微ラマン断層イメージングによるワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測. 砥粒加工学会誌. 2024. 68. 4. 202-207
  • 塩見山太郎, 髙橋清樹, 周立波,清水淳,小貫哲平,尾嶌裕隆, 金子和暉. ロータリインフィード研削におけるウエハ温度の解析および評価. 砥粒加工学会誌. 2024. 68. 3. 140-144
  • 石川翔梧,尾嶌裕隆,小松敏大,周 立波,金子和暉,小貫哲平,清水 淳. 切削加工音による深層学習を用いた異常検知システムの開発. 砥粒加工学会誌. 2024. 68. 2. 82-87
  • Tomohiro Murakoshi, Taisuke Oshida, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Kazuki Kaneko, Teppei Onuki, Jun Shimizu. Development of Extractor-Classifier-Regulator integrated anomaly detection model for turning process. Journal of Manufacturing Processes. 2023. 99. 676-686
  • 金子和暉,橋村紀香,清水 淳,周 立波,小貫哲平,尾嶌裕隆. シリコンCMPの分子動力学シミュレーションにおける化学的作用のモデル化. 砥粒加工学会誌. 2023. 67. 8. 452-457
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MISC (68件)：
  • 清水 淳. 微細加工と表面機能専門委員会活動報告. 精密工学会誌. 2024. 90. 01
  • 清水 淳. 微細機械加工技術を利用した機能表面の創成. 精密工学会誌. 2023. 89. 10. 749-752
  • 清水 淳. 国際シンポジウム ISAAT2022 開催報告. 砥粒加工学会誌. 2023. 67. 1. 44-45
  • 清水 淳. 微小振動援用切削加工を用いた表面テクスチャリング加工技術. トライボロジスト. 2022. 67. 5. 337-342
  • 清水 淳. 砥粒による上すべり-原子除去遷移域の分子動力学シミュレーション. 砥粒加工学会誌. 2021. 65. 9. 467-470
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特許 (1件)：
  • セメンタイトを用いたマイクロマシン用微小機械部品およびその製造方法
書籍 (3件)：
  • 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術
    技術情報協会 2023 ISBN:9784861049828
  • 数値解析と表面分析によるトライボロジーの解明と制御
    テクノシステム 2018 ISBN:9784924728806
  • エレクトロニクス用途におけるガラスの超精密加工【技術全集】
    技術情報協会 2008 ISBN:9784861042102
講演・口頭発表等 (402件)：
  • Molecular Dynamics Analysis of Localized Hydrostatic Pressure-Assisted Cutting with a Sliding
    (The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2023) 2024)
  • Study on Machining Anisotropy of C-plane Sapphire Wafer by Nanoscratching Experiments
    (The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2023) 2024)
  • HHT解析を用いた車両走行時の異常検知
    (精密工学会春季大会学術講演会 2024)
  • GANを用いた機械学習による異常検知システムの開発
    (精密工学会春季大会学術講演会 2024)
  • C面サファイア基板のナノスクラッチ特性(第3報)-シングルとマルチ・スクラッチにおける現象の相違-
    (精密工学会春季大会学術講演会 2024)
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学歴 (3件)：
  • 1994 - 1997 茨城大学大学院 工学研究科 博士課程 生産科学専攻
  • 1992 - 1994 茨城大学大学院 工学研究科 修士課程 精密工学専攻
  • - 1992 茨城大学 工学部 精密工学科
学位 (1件)：
  • 博士(工学) (茨城大学)
経歴 (6件)：
  • 2016/04 - 2021/03 放送大学学園 茨城学習センター 客員教授
  • 2012/04 - 茨城大学 工学部 教授
  • 2007/07 - 2012/03 茨城大学 工学部 准教授
  • 2010/03 - 2010/12 The University of Queensland, Australia School of Mechanical and Mining Engineering Visiting Scholar
  • 2003/04 - 2007/06 茨城大学 工学部 講師
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委員歴 (29件)：
  • 2024/03 - 現在 精密工学会 理事(広報委員長)
  • 2021/03 - 現在 砥粒加工学会 理事(国際委員長)
  • 2019/12 - 現在 International Committee for Abrasive Technology Secretariat general
  • 2019/05 - 現在 砥粒加工学会 セッション・オーガナイザー「トライボロジー」
  • 2017/11 - 現在 精密工学会 セッション・オーガナイザー「マイクロ・ナノ加工とその応用」
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受賞 (14件)：
  • 2023/12 - 精密工学会 ベストオーガナイザー賞(精密工学会秋季大会) 「マイクロ・ナノ加工とその応用」(平均聴講者数進歩部門)
  • 2020/12 - Best Paper Award (Int. Conf. 18th ICPE)
  • 2019/03/14 - 精密工学会 精密工学会論文賞 実験とシミュレーションによる砥粒径のばらつきがウエハ研削面に与える影響の調査
  • 2019/03 - 精密工学会 精密工学会論文賞 実験とシミュレーションによる砥粒径のばらつきがウエハ研削面に与える影響の調査
  • 2011/06 - 茨城大学 Master's Professor of the Year 大学院博士前期課程学生を,当該年度に6名以上指導したことに対する表彰
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所属学会 (7件)：
International Committee for Abrasive Technology ,  日本トライボロジー学会 ,  砥粒加工学会 ,  日本機械学会 ,  精密工学会 ,  The Materials Information Society (ASM) ,  日本金属学会
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