居村史人

イムラフミト | Imura Fumito

所属機関・部署：
職名：産総研特別研究員
ホームページURL (1件)： http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=F53826727

研究分野 (3件)：電子デバイス、電子機器 , ナノバイオサイエンス , ナノ材料科学

研究キーワード (7件)： 3次元構造体の微細加工技術 , 3次元形状計測 , アト-フェムトリットル微少液体制御 , ナノマニピュレーション , ナノプロービング , バンプ , 3次元実装

競争的資金等の研究課題 (1件)：

MISC (3件)：

講演・口頭発表等 (12件)：

Micro-cone-shaped Au-bump by gas deposition method for high-density interconnection of LSI chips
(IMAPS/ACerS 4th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT 2008) 2008)
Micro-cone-shaped Au-bump by gas deposition method for 3D-LSI stacking technology
(International 3D System Integration Conference 2008 (3D-SIC 2008) 2008)
ガスデポジション法による円錐バンプの作製-MEMSデバイスの低温・低荷重ストレスフリー実装を目指して-
(第18回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2008) 2008)
Extremely-Small and Blind Volume Control System toward the Atto-liter Liquid Operation
(Second International Symposium on Standard Material And Metrology for Nanotechnology 2006)
3D Lithography with Confocal Laser Scanning Microscope
(Second International Symposium on Standard Material And Metrology for Nanotechnology 2006)

学歴 (1件)：

学位 (1件)：

受賞 (2件)：

所属学会 (2件)：

エレクトロニクス実装学会 , 電子情報通信学会

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居村 史人