伊藤浩

イトウヒロシ | Ito Hiroshi

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： http://www.tokyo-ct.ac.jp

研究分野 (2件)：電気電子材料工学 , 薄膜、表面界面物性

研究キーワード (5件)： MEMSセンサー , 電子デバイス , 電子物性 , Semiconductor device , Thin film of semiconductor materials

競争的資金等の研究課題 (3件)：

論文 (27件)：

Yoshio Kawamata, Daisuke Ono, Hiroshi Ito, Hiroyuki Nikkuni, Mikio Ito. Film structure and optical characteristics of a-Si:H prepared with a rotary table type layer-by-layer sputtering method for application in short-wave near-infrared filters. Optical Materials Express. 2022. 12. 11. 4223-4234
伊藤浩, 坂本海人, 佐藤翔介, 川又由雄, 新國広幸. 反応性スパッタリング法により作製したSiON膜を用いたMEMSプロセスの検討. 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌). 2022. 142. 10. 273-277
Yoshio Kawamata, Hiroshi Ito, Hiroyuki Nikkuni, Mikio Ito. Substrate Potential Dependence of Optical Characteristics of a-Si:H for Shortwave Near-infrared Filter by DC and RF Sputtering. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 2022. 20. 2. 68-75
川又由雄, 伊藤浩, 新國広幸, 伊藤未希雄. DCスパッタリングによる短波近赤外線フィルター用a-Si:Hの光学特性の成膜温度依存性. 表面と真空. 2021. 64. 8. 375-381
新國広幸, 沼田千鶴, 山路涼斗, 伊藤浩, 川又由雄. 反応性スパッタリング法を用いた光導波路用SiCO薄膜の透明性向上. 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌). 2020. 140. 12. 369-373

MISC (24件)：

書籍 (2件)：

講演・口頭発表等 (36件)：

Si積層による光導波型SPR血糖値センサの高感度化の実験的考察~EB蒸着Si膜における感度の膜厚依存性~
(第40回「センサマイクマシンと応用システム」シンポジウム 2023)
アニール処理による光導波路用 SiCO 薄膜の透明性の改善
(第40回「センサマイクマシンと応用システム」シンポジウム 2023)
TiNマイクロヒータを用いた熱式MEMSフローセンサ作製プロセスの検討
(第40回「センサマイクマシンと応用システム」シンポジウム 2023)
スパッタSiON膜を用いたMEMS圧力センサの作製と特性評価
(第39回「センサマイクマシンと応用システム」シンポジウム 2022)
反応性スパッタリング法による光導波路用SiCO薄膜における光学的特性、機械的特性のガス圧依存性に関する実験的考察
(第39回「センサマイクマシンと応用システム」シンポジウム 2022)

Works (2件)：

学位 (2件)：

経歴 (4件)：

受賞 (1件)：

所属学会 (4件)：

日本真空学会 , 日本表面科学会 , 日本MRS学会 , 応用物理学会

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伊藤 浩