研究者
J-GLOBAL ID:200901039725894106
更新日: 2022年08月26日
久保 隆
クボ タカシ | Kubo Takashi
所属機関・部署:
広島国際学院大学 工学部 広島国際学院大学 工学部 メディア情報通信学科
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職名:
講師
研究分野 (3件):
応用物理一般
, プラズマ科学
, プラズマ応用科学
研究キーワード (2件):
プラズマプロセス
, Plasma Processing
競争的資金等の研究課題 (4件):
1995 - 1998 高周波放電におけるプローブ測定
1992 - 高周波放電に関する研究
Measurements of rf plasma with probe methods
Study on radio frequency discharge
MISC (19件):
容量結合型高周波放電における陽極表面材質の影響. 真空. 2002. 45巻3号173項
Takashi Kubo, Makoto Tanaka. Effects of the anode surfaces on capacitive coupled RF plasmas. Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan. 2002. 45. 3. 173-176
久保 隆, 田中 誠. 容量結合型高周波放電の陰極構造依存性. 真空. 2001. 44. 3. 264-267
T. Kubo, M. Tanaka. Effects of cathode structures on capacitive coupling plasma. Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan. 2001. 44. 3. 264-267
自己補償型ラングミュアプローブの作製について. 広島国際学院大学研究報告. 2000. 33. 1-8
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学位 (1件):
博士(工学) (大阪府立大学)
所属学会 (2件):
真空協会
, 応用物理学会
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