金山敏彦

カナヤマトシヒコ | Kanayama Toshihiko

所属機関・部署：
ホームページURL (1件)： http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=T28930003

研究分野 (1件)：電気電子材料工学

競争的資金等の研究課題 (1件)：

論文 (126件)：

Hitoshi Yamamura, Yuji Ohishi, Yukari Katsura, Kaoru Kimura, Noriyuki Uchida, Toshihiko Kanayama. Stability and bonding nature for icosahedral or planar cluster of hydrogenated boron or aluminum. AIP Advances. 2019. 9. 11. 115117-115117
Naoya Okada, Noriyuki Uchida, Toshihiko Kanayama. Thermal stability of amorphous Si-rich W silicide films composed of W-atom-encapsulated Si clusters. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2017. 121. 22
Okada Naoya, Uchida Noriyuki, Ogawa Sinichi, Endo Kazuhiko, Kanayama Toshihiko, IEEE. Cluster-Preforming-Deposited Amorphous WSin (n=12) Insertion Film of Low SBH and High Diffusion Barrier for Direct Cu Contact. 2017 Ieee International Electron Devices Meeting (Iedm). 2017
Naoya Okada, Noriyuki Uchida, Toshihiko Kanayama. Si-rich W silicide films composed of W-atom-encapsulated Si clusters deposited using gas-phase reactions of WF6 with SiH4. JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS. 2016. 144. 8
Leonid Bolotov, Toshihiko Kanayama. Advanced Scanning Tunneling Microscopy for Nanoscale Analysis of Semiconductor Devices. Microscopy and Analysis. 2016

MISC (108件)：

Yuji Ohishi, Yuji Ohishi, Kaoru Kimura, Masaaki Yamaguchi, Noriyuki Uchida, Toshihiko Kanayama. Ionization of decaborane with controlled hydrogen content by charge transfer from ambient gas. Materials Research Society Symposium Proceedings. 2011. 1307. 94-99
福田浩一, 西澤正泰, 多田哲也, BOLOTOV Leonid, 鈴木腕, 佐藤成生, 有本宏, 金山敏彦. 招待講演 STMによるキャリア分布測定のデバイスシミュレーション (シリコン材料・デバイス). 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報. 2011. 111. 281. 21-26
Yuji Ohishi, Yuji Ohishi, Kaoru Kimura, Masaaki Yamaguchi, Noriyuki Uchida, Toshihiko Kanayama. Synthesis and formation mechanism of hydrogenated boron clusters B12 Hnwith controlled hydrogen content. Journal of Chemical Physics. 2010. 133
Yuji Ohishi, Kaoru Kimura, Masaaki Yamaguchi, Noriyuki Uchida, Toshihiko Kanayama. Energy barrier of structure transition from icosahedral B 12H6⁺ to planar B12H 5⁺ and B12H4⁺ clusters. Journal of Physics: Conference Series. 2009. 176. 012030-012030
金山敏彦, 西澤正泰, Bolotov Leonid. 走査型トンネル顕微鏡を用いた二次元不純物分布計測. 應用物理. 2008. 77. 9. 1103-1106

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

経歴 (5件)：

所属学会 (3件)：

日本表面真空学会 , 日本物理学会 , 応用物理学会

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金山 敏彦