研究者
J-GLOBAL ID：200901040407647289   更新日: 2024年04月09日

松谷 晃宏

マツタニアキ ヒロ | Matsutani Akihiro
所属機関・部署：
東京工業大学 オープンファシリティセンター マイクロプロセス部門

東京工業大学 オープンファシリティセンター マイクロプロセス部門 について


職名： 部門長/上席技術専門員
ホームページURL (1件)： http://www.tsd.titech.ac.jp/~semimem/
研究分野 (6件)： 電子デバイス、電子機器 ,  応用物理一般 ,  プラズマ科学 ,  プラズマ応用科学 ,  ナノマイクロシステム ,  ナノ材料科学
研究キーワード (6件)： ヴァイオリン ,  音楽音響 ,  MEMS ,  面発光レーザ ,  エッチング ,  プラズマ
競争的資金等の研究課題 (17件)：
  • 2021 - 2025 増感型熱利用発電における使用熱量測定と効率の定義
  • 2018 - 2023 分割主鏡望遠鏡での直接撮像による木星類似型太陽系外惑星の特性観測
  • 2017 - 2019 2次元マイクロ凹面鏡アレイとケーラー照明による単一細胞2次元アレイ操作技術の開発
  • 2013 - 2017 発光抑制する電気化学フォトニック結晶の作製
  • 2014 - 2016 新規2次元ダイヤモンドシート膜による超低消費電力デバイスの創製
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論文 (274件)：
  • Mina Sato, Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani. Microfabrication of Si by KOH Etchant Using Etching Masks Amorphized by Ion Beam Extracted From Electron Cyclotron Plasma. Sensors and Materials. 2024. 36. 4. 1319-1319
  • Akihiro Matsutani. Measurement of frequency characteristics under various tuning conditions in violin performances. Acoustical Science and Technology. 2023. 44. 3. 302-308
  • Mie Tohnishi, Mina Sato, Akihiro Matsutani, Takashi Ubukata, Sachiko Matsushita. Surface Treatment of Polyimide Using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Ge Electrode. Sensors and Materials. 2023. 35. 3. 1023-1023
  • Ryo Tsukui, Masaru Kino, Kodai Yamamoto, Mina Sato, Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani, Mikio Kurita. Laboratory demonstration of the birefrigentpoint-diffraction interferometer wavefront sensor. Optics Continuum. 2022. 2. 382-396
  • Akihiro Matsutani. Observation of libration and change in apparent diameter of the Moon with a pinhole camera. Physics Education. 2022. 57. 055011 (6pp)
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MISC (109件)：
  • 松谷晃宏. 花と風. 応用物理. 2023. 92. 2. 63
  • 松谷晃宏. 科学・技術と研究. 分子研レターズ. 2022. 85. 37-38
  • 松谷晃宏. 雲棚引くマイクロ富士. 応用物理. 2022. 91. 1. 3
  • 松谷晃宏. タンポポの綿毛. O plus E. 2021. 43. 6. 567-568
  • 松谷晃宏. ミクロの世界の石畳. 応用物理. 2021. 90. 5. 265
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特許 (1件)：
  • 単一細胞分離用プレート
書籍 (5件)：
  • 日本音響学会編 音響学講座9 音楽音響
    コロナ社 2023 ISBN:9784339013696
  • 音楽知覚認知ハンドブック
    北大路書房 2020
  • 化合物半導体の最新技術大全集,技術情報協会,(第7章分担)
  • 音響キーワードブック,(ヴァイオリンの項を分担)
    コロナ社
  • 面発光レーザの基礎と応用,共立出版(第4章分担)
講演・口頭発表等 (58件)：
  • 擦弦によるヴィオラA弦の演奏音の周波数応答の測定
    (2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
  • OsコーティングによるSU-8膜の梁構造の機械的強度の向上
    (2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
  • 裏面露光によるサブミクロン直径のSU-8円柱構造の作製と蛍光観察
    (2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
  • イオンビーム照射によりアモルファス化したSi表面のXRR測定
    (2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
  • Deep-RIEで作製したブラックGeの微細構造側壁のスキャロップ深さと反射率との関係
    (2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
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学歴 (2件)：
  • - 1989 防衛大学校 理工学専攻 応用物理学
  • - 1983 東京都立西高等学校
学位 (1件)：
  • 博士(工学) (東京工業大学)
経歴 (5件)：
  • 2023/10 - 現在 東京工業大学 オープンファシリティセンターマイクロプロセス部門 部門長/上席技術専門員
  • 2020/04 - 2023/09 東京工業大学 オープンファシリティセンター マイクロプロセス部門 部門長/主任技術専門員
  • 2016/04 - 2020/03 東京工業大学 技術部マイクロプロセス部門 部門長/主任技術専門員
  • 2008 - 2016 東京工業大学 技術部半導体・MEMS支援センター センター長/技術専門員
  • 1989 - 2007 東京工業大学 精密工学研究所 文部技官
委員歴 (4件)：
  • 2018 - 現在 日本音響学会 音楽音響研究会 運営委員
  • 2009/05 - 現在 応用物理学会 プログラム編集委員(1.3新技術・複合新領域)
  • 2014/05 - 2016/04 応用物理学会 論文賞委員
  • 2011/05 - 2016/04 応用物理学会 講演会企画運営委員
受賞 (16件)：
  • 2024/01 - 16th IEEE/SICE International Symposium on System Integration(SII2024) Best Paper Award Finalist
  • 2022/09 - 応用物理学会 第20回JSAP Photo & Illustration Contest 優秀賞
  • 2021/09 - 電子情報通信学会 IEICE ELEX Best Paper Award
  • 2021/09 - 応用物理学会 第18回JSAPフォト&イラストコンテスト最優秀賞
  • 2020/09 - 応用物理学会 第16回 JSAPフォト&イラスト コンテスト 優秀賞
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所属学会 (3件)：
日本音響学会 ,  応用物理学会 ,  日本音響学会音楽音響研究会
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