研究者

J-GLOBAL ID：200901041910074608 更新日: 2024年01月30日

鹿間共一

シカマトモカズ | Shikama Tomokazu

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (1件)：電気電子材料工学

研究キーワード (6件)： CVD , 酸化亜鉛 , 大気圧プラズマ , transparent conductive film , open air plasma , ZnO

競争的資金等の研究課題 (8件)：

2016 - 2019 理科室で構築するナノテクプラットフォーム
2004 - 2005 大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜における成膜速度の高速化
大気圧低温プラズマの応用
大気圧低温プラズマによるプラスチックの表面処理
大気圧低温プラズマによる透明導伝性薄膜の作製

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論文 (35件)：

Masashi Yamamoto, Tomohiro Shiroi, Tomokazu Shikama, Shiro Nagaoka, Hideo Horibe. Photoresist removal using hydrogen radicals produced by tantalum hot-wire catalyst. AIP Conference Proceedings. 2019. 2151
Masashi Yamamoto, Tomohiro Shiroi, Tomokazu Shikama, Shiro Nagaoka, Hironobu Umemoto, Hideo Horibe. Relationship between oxygen additive amount and photoresist removal rate using h radicals generated on an iridium hot-wire catalyst. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2019. 32. 4. 609-614
平岡延章, 十河宏行, 由良諭, 逸見知弘, 正箱信一郎, 石井耕平, 津守伸宏, 鹿間共一, 漆原史朗, 太良尾浩生. モータ軸直接駆動系の推進力発生機序に関する一考察(モータ軸直接駆動単一モータによる揺動前進運動の生成). 機械学会論文誌. 2018. 84. 862. 18-31
平岡延章, 太良尾浩生, 十河宏行, 由良諭, 逸見知弘, 正箱信一郎, 石井耕平, 津守伸宏, 鹿間共一, 漆原史朗. モータ軸直接駆動系の推進力発生機序に関する一考察(モータ軸直接駆動単一モータによる揺動前進運動の生成). 日本機械学会論文集. 2018. 84. 862. 18-00031-18-00031
Masashi Yamamoto, Tomohiro Taki, Takuto Sunada, Tomokazu Shikama, Shiro Nagaoka, Hironobu Umemoto, Hideo Horibe. Removal of polymers for KrF and arf photoresist using hydrogen radicals containing a small amount of oxidizing radicals. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2018. 31. 3. 419-424

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MISC (34件)：

城井智弘, 山本雅史, 長岡史郎, 鹿間共一, 梅本宏信, 大平圭介, 西山聖, 堀邊英夫. 水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2017. 64th
鹿間共一. Effect of O2 gas flow rate and RF power on Zinc oxide films made by the atmospheric pressure cold plasma method. 6th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON TECHNOLOGY FOR SUSTAINABILITY, 6 October 2016. 2016
高井智基, 山本雅史, 鹿間共一, 長岡史郎, 西山聖, 堀邊英夫. 大気圧低温プラズマを用いたレジストの除去. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2016. 63rd
山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫. 水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2016. 63rd
雛元洋一, 柿元健, 太良尾浩生, 辻正敏, 重田和弘, 鹿間共一. 電気系基礎科目における解答の書き方指導の取組みとその効果. 高専教育. 2015. 38. 146-151

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講演・口頭発表等 (61件)：

理科室で構築する工学教育用半導体デバイス設計製作評価環境
(応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2020)
大気圧低温プラズマより作製したAZO/ZnO/ZnO薄膜の水添加による膜特性の変化
(電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2018)
大気圧低温プラズマにより作製したAZO/ZnO膜に対する核生成時スイープ速度の影響
(電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2017)
大気圧低温プラズマを用いて作製したAZO/ZnO膜の水添加による特性変化
(電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2017)
水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性
(応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017)

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Works (3件)：

高度情報化に向けた超極細同軸ケーブルの実用化研究
2003 -
光通信波長多重用ファイバー型デバイスの開発
2001 -
大気圧低温プラズマを用いたZnO透明導電性薄膜の作製
1998 -

学歴 (4件)：

- 1985 姫路工業大学工学研究科生産工学
- 1985 姫路工業大学
- 1980 姫路工業大学工学部電気工学科
- 1980 姫路工業大学

学位 (1件)：

工学博士 (姫路工業大学)

所属学会 (2件)：

電子情報通信学会 , 応用物理学会

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