研究者
J-GLOBAL ID：200901042704346070   更新日: 2022年12月26日

増田 剛

マスダ ツヨシ | TSUYOSHI MASUDA
所属機関・部署：
CMCマテリアルズ株式会社

CMCマテリアルズ株式会社 について


研究分野 (4件)： 分析化学 ,  基礎物理化学 ,  ナノ構造物理 ,  ナノ構造化学
研究キーワード (8件)： CMP ,  スラリー ,  レオロジー ,  コロイド ,  CMP ,  Slurry ,  Rheology ,  Colloid
競争的資金等の研究課題 (2件)：
  • 2005 - 2008 CMPスラリーのキャラクタリゼーションと研磨機構の解明
  • 2005 - 2008 Characterization of CMP slurry and Mechanisms of polishing
学位 (1件)：
  • 工学修士
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