研究者
J-GLOBAL ID:200901046419813158   更新日: 2024年03月28日

久保田 章亀

クボタ アキヒサ | Kubota Akihisa
所属機関・部署:
職名: 准教授
研究分野 (2件): 材料加工、組織制御 ,  加工学、生産工学
研究キーワード (4件): 超精密加工 ,  表面 ,  研磨 ,  精密加工
競争的資金等の研究課題 (10件):
  • 2023 - 2026 トライボプラズマを援用したダイヤモンド基板の高能率ドライエッチング法の開発
  • 2018 - 2021 紫外光/オゾンを援用したダイヤモンド基板の高効率ウエット加工法の開発
  • 2014 - 2017 紫外光励起研磨によるダイヤモンドウェハおよび工具の高度化技術の開発
  • 2013 - 2015 次世代パワーデバイス用ダイヤモンド基板の高能率加工プロセスの開発
  • 2011 - 2014 省エネパワーデバイス用ダイヤモンドウェハ実現のための紫外光支援加工技術の開発
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論文 (80件):
  • Kouki Hasegawa, Shigeru Tanaka, Daisuke Inao, Masatoshi Nishi, Akihisa Kubota, Kazuyuki Hokamoto. Dynamic compression of a polymer stamper using high-impulse underwater shock waves to imprint a sub-micrometer structure on a metal plate surface. Journal of Materials Research and Technology. 2023. 24. 6730-6738
  • Kouki Hasegawa, Shigeru Tanaka, Ivan Bataev, Daisuke Inao, Matatoshi Nishi, Akihisa Kubota, Kazuyuki Hokamoto. Toward a Better Understanding of Shock Imprinting with Polymer Molds Using a Combination of Numerical Analysis and Experimental Research. Materials. 2022. 15. 5. 1727-1727
  • Shuichi Hiza, Ken Imamura, Yusuke Shirayanagi, Koji Yoshitsugu, Yuki Takiguchi, Kunihiko Nishimura, Hideki Takagi, Hideaki Yamada, Akihisa Kubota, Mikio Yamamuka. Development of GaN-on-Diamond HEMT Using Diamond Substrate with Large Area. IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems. 2022. 142. 3. 354-359
  • S. Hiza, Y. Shirayanagi, Y. Takiguchi, K. Nishimura, T. Matsumae, Y. Kurashima, E. Higurashi, H. Takagi, A. Chayahara, Y. Mokuno, et al. GaN-HEMTs on diamond prepared by room-temperature bonding technology. 2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2021. 2021. 16
  • Kouki Hasegawa, Shigeru Tanaka, Ivan Bataev, Daisuke Inao, Masatoshi Nishi, Akihisa Kubota, Kazuyuki Hokamoto. One-dimensional nanoimprinting using linear explosives. Materials & Design. 2021. 203. 109607-109607
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MISC (75件):
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特許 (9件):
講演・口頭発表等 (180件):
  • 触媒反応を利用した多結晶ダイヤモンド精密研磨とその接合デバイス応用
    (精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020)
  • オゾン/紫外光援用ウエット研磨法の開発:マイクロバブルの効果
    (精密工学会学術講演会講演論文集 2020)
  • オゾン/紫外光援用ドライ研磨法の開発:GaN基板の平坦化
    (精密工学会学術講演会講演論文集 2020)
  • マイクロ/ナノバブルを利用したウエット研磨法によるダイヤモンド基板の平坦化
    (精密工学会大会学術講演会講演論文集 2019)
  • 電着ダイヤモンド砥石の窒素ガス援用ツル-イング
    (生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2019)
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学歴 (3件):
  • 2002 - 2005 大阪大学 大学院工学研究科 精密科学専攻 博士後期課程
  • 2000 - 2002 大阪大学 大学院工学研究科 精密科学専攻 博士前期課程
  • 1996 - 2000 大阪大学 工学部 応用自然科学科
学位 (1件):
  • 博士(工学) (大阪大学)
経歴 (6件):
  • 2020/04 - 現在 熊本大学 産業ナノマテリアル研究所 准教授(併任)
  • 2016/04 - 現在 熊本大学大学院先端科学研究部 准教授
  • 2012/06 - 2016/03 熊本大学大学院自然科学研究科(工学系)先端機械システム 准教授
  • 2007/04 - 2012/05 熊本大学大学院自然科学研究科(工学系)先端機械システム 助教
  • 2005 - 2006 熊本大学工学部 助手
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受賞 (9件):
  • 2016/06 - 平成27年度第37次工作機械技術論文賞
  • 2015/06 - 平成26年度第36次工作機械技術論文賞
  • 2015/03 - 平成26年度砥粒加工学会論文賞
  • 2014/11 - 熊本大学研究活動表彰
  • 2013 - 平成24年度第34次工作機械技術振興賞(奨励賞)
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所属学会 (4件):
応用物理学会 ,  砥粒加工学会 ,  日本機械学会 ,  精密工学会
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