福田眞

フクダマコト | Fukuda Makoto

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (4件)：電子デバイス、電子機器 , 機械力学、メカトロニクス , ロボティクス、知能機械システム , 加工学、生産工学

研究キーワード (8件)：精密運動制御 , 光計測 , 精密位置決め , ナノ・マイクロ加工 , Precise Motion Control , Optical measurement , Presice Positioning , Nano-Micro Fabrication

競争的資金等の研究課題 (7件)：

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MISC (3件)：

講演・口頭発表等 (1件)：

学位 (1件)：

所属学会 (4件)：

応用物理学会 , 精密工学会 , 日本機械学会 , 計測自動制御学会

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福田 眞