研究者
J-GLOBAL ID:200901080089397210   更新日: 2010年10月17日

豊田 宏

トヨタ ヒロシ | Toyota Hiroshi
所属機関・部署:
職名: 助教
研究分野 (5件): 薄膜、表面界面物性 ,  プラズマ科学 ,  プラズマ応用科学 ,  ナノマイクロシステム ,  ナノ材料科学
研究キーワード (6件): マイクロファブリケーション ,  薄膜 ,  MEMS ,  Micro fabrication ,  thin film ,  Micro Electro Mechanical System
競争的資金等の研究課題 (2件):
  • 2005 - 2008 人体行動センシング用MEMS加速度センサの開発
  • 2005 - 2008 Development of MEMS Accelerometer for Human Motion Sensing
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