研究者
J-GLOBAL ID:200901080864516973
更新日: 2018年02月05日
森本 達郎
モリモト タツオ | TATSUO MORIMOTO
所属機関・部署:
東北大学 未来科学技術共同研究センター
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職名:
助教
研究分野 (1件):
電子デバイス、電子機器
研究キーワード (3件):
露光装置
, フォトマスク
, 半導体回路
競争的資金等の研究課題 (2件):
2004 - 現在 瞬時マスク描画システムの研究
2005 - 2008 レーザー描画基礎技術の研究開発
学歴 (1件):
- 2004 東北大学 工学研究科 電子工学専攻
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