研究者
J-GLOBAL ID：200901084286903310   更新日: 2022年09月11日

松本 智

マツモト サトル | Matsumoto Satoru
所属機関・部署：
慶應義塾大学 理工学部 理工学部 電子工学科

慶應義塾大学 理工学部 理工学部 電子工学科 について


職名： 教授
MISC (265件)：
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書籍 (6件)：
  • 基本から学ぶ電子物性
    電気学会 2011
  • 次世代ULSIプロセス技術
    リアライズ社 2000
  • 半導体大事典
    工業調査会 1999
  • 超精密技術体系 第2巻,実用技術「レーザードーピング装置」分担
    フジ・テクノシステム 1994
  • レーザプロセス技術ハンドブック
    朝倉書店 1992
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講演・口頭発表等 (19件)：
  • “Epitaxial Growth of Pure 30Si Layers on a Natural Si(100) Substrate Using Enriched 30SiH4”,
    (First Int’ Workshop on New Group IV Semiconductors 2001)
  • 「GS-MBEの選択成長を用いたc-Si/SiO2低次元構造の作成」
    (電子情報通信学会 2001)
  • 「安定同位体30Siを用いた外因性Si中におけるSi自己拡散」
    (応用物理学会 2001)
  • 「CZ-Si中におけるPの過渡増速拡散、損失に及ぼす窒化膜偏析の影響」
    (応用物理学会 2001)
  • 「Si(100)上へのBPのエピタキシャル薄膜の選択成長」
    (応用物理学会 2001)
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学歴 (6件)：
  • - 1976 慶應義塾大学 工学研究科 電気工学科
  • - 1976 慶應義塾大学
  • - 1973 慶應義塾大学 工学研究科 電気工学科
  • - 1973 慶應義塾大学
  • - 1971 慶應義塾大学 工学部 電気工学科
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学位 (1件)：
  • 工学 (慶應義塾大学)
経歴 (12件)：
  • 1998 - 1999 :慶應義塾大学大学院 ,入試事務長
  • 1999 - -:兼慶應義塾大学大学院先端電気電子工学 ,専修主任
  • 1995 - 1997 :兼慶應義塾大学理工学部電気工学科 ,教室幹事
  • 1994 - 1996 :慶應義塾大学理工学部電気工学科 ,教授
  • 1996 - -:慶應義塾大学理工学部電子工学科兼電気工学科 ,教授
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委員歴 (5件)：
  • 1989/07 - (社)電気学会 論文委員会 幹事
  • 1989/06 - (社)電気学会 「電子・情報・システム部門誌委員会」 幹事
  • 1988/01 - (社)電気学会 「レーザ励起ドライプロセス調査専門委員会」 幹事
  • 1984/04 - (社)電気学会 論文委員
  • 1979/04 - 1981/03 (社)電子通信学会 海外論文委員
所属学会 (6件)：
(社)電子通信学会 ,  (社)電気学会 ,  (社)電気学会 「レーザ励起ドライプロセス調査専門委員会」 ,  (社)電気学会 「電子・情報・システム部門誌委員会」 ,  (社)電気学会 論文委員会 ,  電気学会 「放射光励起プロセス」技術調査専門委員会
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