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J-GLOBAL ID：200902000003911600   整理番号：83A0080349

単結晶や薄膜中のドープされた元素と不純物を各層ごとに定量するための正確な方法

Precise methods for layer-by-layer determination of doped elements and impurities in monocrystals and films.

著者 (2件)： YUDELEVICH I G (Inst. Inorganic Chemistry, USSR) ,  SHELPAKOVA I R (Inst. Inorganic Chemistry, USSR)
資料名： Chemia Analityczna  (Chemia Analityczna)
巻： 26  号： 5  ページ： 883-891  発行年： 1981年 
JST資料番号： D0516A  ISSN： 0009-2223  CODEN： CANWA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： ポーランド (POL)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単結晶や薄膜の層分析(各層ごとの分析)につきレビューを行った...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 無機物質中の元素の放射化学的分析  (CC06022C) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 単結晶 ,  薄膜 ,  ドープ ,  元素 ,  不純物 ,  定量