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J-GLOBAL ID:200902000007155672   整理番号:94A0053043

Surface protection by semiconductor wafer bonding.

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資料名:
ページ: 260-270  発行年: 1992年 
JST資料番号: K19930519  ISBN: 1-56677-008-4  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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