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J-GLOBAL ID：200902000008874990   整理番号：86A0213391

ダイヤモンド状炭素膜/Si MIS構造のESCA分析と電気的特性

ESCA compositional profiles and electrical properties of diamond-like carbon film/Si MIS structure.

著者 (6件)： みぞ川ゆう介 (大阪府大総合科) ,  宮里達郎 (大阪大産科研) ,  小茂田治 (大阪府大総合科) ,  長谷川繁彦 (大阪大産科研) ,  徳村正夫 (大阪大産科研) ,  中村勝吾 (大阪大産科研)
資料名： 電子通信学会論文誌 C  (Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan. C)
巻： 69  号： 2  ページ： 167-175  発行年： 1986年02月 
JST資料番号： S0623A  ISSN： 0373-6113  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水素ガスによるグラファイトのDCスパッタでSi上にMISダイ...

シソーラス用語： ダイヤモンド ,...

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分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (6件)： ダイヤモンド状炭素 ,  Si ,  MIS構造 ,  ESCA ,  分析 ,  電気的特性