文献
J-GLOBAL ID：200902000054570939   整理番号：90A0147605

ドーパント-ドーパント相互作用によって緩和された拡散と電気的活性

Diffusion and electrical activation moderated by dopant-dopant interaction.
  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=90A0147605&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=K19890647") }}
著者 (1件)：
ARONOWITZ S

ARONOWITZ S について

(Schlumberger Palo Alto Research Center-Fairchild, California)

Schlumberger Palo Alto Research Center-Fairchild, California について


資料名：
Proceedings of the Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology, 1986  (Proceedings of the Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology, 1986)

Proceedings of the Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology, 1986 について


ページ： 107-116  発行年： 1988年 
JST資料番号： K19890647  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
Si中のドーパント-ドーパント相互作用をモデル化するために半...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
ドーパント

ドーパント について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=90A0147605&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=K19890647") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
半導体の格子欠陥 
(BK12040Q)

半導体の格子欠陥 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
ドーパント

ドーパント について

, 
相互作用

相互作用 について

, 
緩和

緩和 について

, 
拡散

拡散 について

, 
電気的活性

電気的活性 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM