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J-GLOBAL ID:200902000061720423   整理番号:87A0451483

集積化アモルファス・シリコン・モジュールの科学的,技術的基盤の開発 a-Si合金の蒸着技術

Development of the scientific and technical basis for integrated amorphous silicon modules. Deposition techniques for a-Si alloys.
資料名:
ページ: 11-14  発行年: 1986年 
JST資料番号: K19870294  ISBN: 90-277-2448-2  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 解説  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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JSTが定めた文献の分類名称とコードです
太陽電池  ,  固体デバイス製造技術一般 

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