The concept of local work cells as the key element for computer automated process data logging and data management in the micro-electronic production industry.

文献

J-GLOBAL ID：200902000079347894 整理番号：93A0774146

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 12th ページ： 26-33 発行年： 1992年
JST資料番号： T0858A 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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