J-GLOBAL ID:200902000090387830整理番号:89A0399354
Optical properties of ion-implanted silicon-on-sapphire layers.
イオン注入したサファイア上シリコン層の光学特性
著者:WILBERTZ CH(Max‐Planck‐Inst. Kernphysik, Heidelberg, DEU)、BHATIA K L(Max‐Planck‐Inst. Kernphysik, Heidelberg, DEU)、KRAETSCHMER W(Max‐Planck‐Inst. Kernphysik, Heidelberg, DEU)・・・
資料名:Mater Sci Eng B 巻:2 号:4 ページ:325-331
発行年:1989年04月
資料名:Mater Sci Eng B 巻:2 号:4 ページ:325-331
発行年:1989年04月