シリコン-酸素-窒素系の定量的Auger微小部分析

Van OOSTROM A; AUGUSTUS L; HABRAKEN F H P M; KUIPER A E T

文献

J-GLOBAL ID：200902000090968140 整理番号：83A0286040

シリコン-酸素-窒素系の定量的Auger微小部分析

Quantitative Auger microanalysis of the silicon-oxygen-nitrogen system.

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資料名：
巻： 20 号： 4 ページ： 953-956 発行年： 1982年04月
JST資料番号： C0789A ISSN： 0022-5355 CODEN： JVSTAL 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

シリコンの熱酸化膜と,低圧の化学蒸着によるシリコンの窒化膜と...

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固体デバイス製造技術一般 , その他の無機化合物の薄膜 , その他の物理分析

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