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文献J-GLOBAL ID:200902000090968140整理番号:83A0286040

Quantitative Auger microanalysis of the silicon-oxygen-nitrogen system.

シリコン‐酸素‐窒素系の定量的Auger微小部分析

著者:Van OOSTROM A(Philips, The Netherlands)、AUGUSTUS L(Philips, The Netherlands)、HABRAKEN F H P M(Philips, The Netherlands)・・・
資料名:J Vac Sci Technol 巻:20 号:4 ページ:953-956
発行年:1982年04月
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