高度に対称性のよい静電容量型シリコン加速度計

文献

J-GLOBAL ID：200902000100421765 整理番号：90A0638050

Capacitive silicon accelerometer with highly symmetrical design.

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資料名：
巻： 21 号： 1/3 ページ： 312-315 発行年： 1990年02月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

標記センサはシリコンウエハの両面に最小8個の片持ち梁の上に対...

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圧電デバイス , 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器

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